[发明专利]一种基于模型仿真的激光直写光学邻近效应校正方法

说明书

本发明公开了一种基于模型仿真的激光直写光学邻近效应校正方法，首先将原始gds文件数字化处理，并利用建立的光学模型进行仿真，然后利用邻近区域能量求和法得到对应的能量分布图；接着利用阈值法将所述能量分布图转化为二值图后，根据所述二值图上的角能量判定点和边能量判定点对应位置上的能量值与能量阈值的比较，按照指定像素值进行像素的加减，多次迭代直至满足要求后，转化为gds文件并保存，能够对畸变进行校正，提升图案质量。

技术领域

本发明涉及掩模制造和集成电路图案绘制技术领域，尤其涉及一种基于模型仿真的激光直写光学邻近效应校正方法。

背景技术

激光直写就是一种将gds文件加工成产品的方式，相比于传统掩模光刻，激光直写技术拥有无需掩模，加工灵活，对基底表面平整度要求较低的优势。现阶段，激光直写主要用作掩模的加工，还有衍射光学元件的加工。但是由于应用在激光直写上的激光束一般是高斯光束或是修过的平顶光束，其能量分布特性容易引起一系列的图案畸变，如线尾缩短，边角圆化，疏密线条不均等问题，现代激光直写方案一般应用的是平顶光束，在线条边缘的表现无疑更好，但是图案畸变问题仍然存在。这些畸变不仅会影响图案质量，严重的时候还有可能造成缺陷的产生。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基于模型仿真的激光直写光学邻近效应校正方法，能对畸变进行校正，提升图案质量。

为实现上述目的，本发明提供了一种基于模型仿真的激光直写光学邻近效应校正方法，包括：

将原始gds文件进行数字化处理和仿真，得到能量分布图；

利用阈值法将所述能量分布图转换为二值图；

根据所述二值图上的能量判定点对应能量值，对所述二值图进行像素加减；

将完成像素加减后的所述二值图转化为gds文件。

其中，将原始gds文件进行数字化处理和仿真，得到能量分布图，包括：

将原始gds文件进行数字化处理后，利用光学模型对得到的数字图像进行仿真，同时按照设定步长，利用能量求和法对得到的单个光斑的激光直写能量分布进行叠加，得到完整的能量分布图。

其中，根据所述二值图上的能量判定点对应能量值，对所述二值图进行像素加减，包括：

根据所述二值图上的角和边上指定点位置得到对应的角能量判定点和边能量判定点，并将所述角能量判定点或所述边能量判定点的对应能量值与能量阈值进行比较。

其中，根据所述二值图上的能量判定点对应能量值，对所述二值图进行像素加减，还包括：

若所述角能量判定点或所述边能量判定点的对应能量值小于所述能量阈值，则在对应的所述角能量判定点或所述边能量判定点增加指定像素值，直至所述角能量判定点或所述边能量判定点的对应能量值与所述能量阈值相等；

若所述角能量判定点或所述边能量判定点的对应能量值大于所述能量阈值，则在对应的所述角能量判定点或所述边能量判定点减少指定像素值，直至所述角能量判定点或所述边能量判定点的对应能量值与所述能量阈值相等。

其中，将完成像素加减后的所述二值图转化为gds文件，包括：

将所述角能量判定点或所述边能量判定点的对应能量值与所述能量阈值相等后的对应的所述二值图转化为gds文件，并进行保存。

本发明的一种基于模型仿真的激光直写光学邻近效应校正方法，首先将原始gds文件数字化处理，并利用建立的光学模型进行仿真，然后利用能量求和法得到对应的能量分布图；接着利用阈值法将所述能量分布图转化为二值图后，根据所述二值图上的角能量判定点和边能量判定点对应位置上的能量值与能量阈值的比较，按照指定像素值进行像素的加减，多次迭代直至满足要求后，转化为gds文件并保存，能够对畸变进行校正，提升图案质量。