[发明专利]具有水平调整模块的测试设备在审

专利信息
申请号: 202010684861.1 申请日: 2020-07-16
公开(公告)号: CN114019334A 公开(公告)日: 2022-02-08
发明(设计)人: 吴国荣;江登鑫;林修颐 申请(专利权)人: 京元电子股份有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26;H01L21/66
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 孙蕾
地址: 中国台湾新*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 具有 水平 调整 模块 测试 设备
【权利要求书】:

1.一种具有水平调整模块的测试设备,包括有:

一测试头;

一测试界面,包括一上基板、一下基板以及一水平调整模块,该上基板以多个拉伸弹簧连接该测试头,该水平调整模块包括多个驱动组件,该每一驱动组件分别连接该上基板及该下基板,包括一驱动马达及一万向接头,用以调整该上基板与下基板间不同位置处的间距大小;以及

一针测机,承载该测试界面,具有一可与该下基板搭接的探针卡。

2.如权利要求1所述的具有水平调整模块的测试设备,其还包括一扣卡机构,该扣卡机构包括一扣卡马达、一具有一导槽元件的滑动件以及一具有一导柱元件的固定件,该扣卡马达设置于该上基板上,可驱动该滑动件作动,该固定件设置于该针测机上,该导柱元件可在该导槽元件内滑动,并带动该上基板,使该上基板可确实搭接固定该探针卡。

3.如权利要求1所述的具有水平调整模块的测试设备,其中,该下基板以一载板连接该探针卡,且该载板具有多个弹簧插针连接器。

4.如权利要求1所述的具有水平调整模块的测试设备,其中,该驱动组件还包括一连结块以及一连接该驱动马达与该连结块的水平滑移件。

5.如权利要求4所述的具有水平调整模块的测试设备,其中,该连结块设有一止挡汽缸,其内容置一可凸伸抵触该驱动马达的止挡活塞。

6.如权利要求1所述的具有水平调整模块的测试设备,其中,该水平调整模块包括四个驱动组件,包括一第一驱动组件、一第二驱动组件、一第三驱动组件以及一第四驱动组件。

7.如权利要求6所述的具有水平调整模块的测试设备,其中,该第一驱动组件、该第二驱动组件以及该第四驱动组件还分别包括一连结块以及一连接该驱动马达与该连结块的水平滑移件。

8.如权利要求7所述的具有水平调整模块的测试设备,其中,该水平滑移件具有一滑块及一滑轨,分别连接该驱动马达与该连结块。

9.如权利要求1所述的具有水平调整模块的测试设备,其中,该针测机还包括一影像感测器。

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