[发明专利]一种新型节能半导体石墨热场

权利要求书

1.一种新型节能半导体石墨热场，包括外壳（1），其特征在于：所述外壳（1）内部底部的中间位置设置有电动升降杆（3），所述电动升降杆（3）的顶部设置有底座（2），所述底座（2）的顶部设置有坩埚（14），所述坩埚（14）的外侧设置有多组吸热片（10），所述外壳（1）内侧的中间位置处设置有保温筒（17），所述保温筒（17）的内侧设置有石墨软毡保温层（15），所述外壳（1）内部一端两侧的中间位置对称设置有加热管（16），所述外壳（1）一侧底部的中间位置设置有抽气泵（6），所述抽气泵（6）的输入端设置有通气管（19），且通气管（19）的一侧延伸至外壳（1）的内部，所述通气管（19）外侧的中间位置设置有电磁阀（5），所述通气管（19）远离抽气泵（6）的一侧设置有气体导流管（4），所述电磁阀（5）和气体导流管（4）皆处于外壳（1）的内部，所述抽气泵（6）的输出端与外壳（1）靠近通气管（19）一侧顶部的中间位置之间设置有冷却管（8），所述外壳（1）一侧一端的中间位置设置有安装板（7），所述安装板（7）靠近冷却管（8）的一端设置有散热风扇（9），所述外壳（1）的顶部设置有盖板（18），所述盖板（18）内侧的底部设置有保温板（11），所述保温板（11）的内侧设置有导流筒（12），所述盖板（18）一侧的中间位置设置有进气口（13）。

2.根据权利要求1所述的一种新型节能半导体石墨热场，其特征在于：所述外壳（1）的顶部设置有卡环，所述盖板（18）的底部设置有卡槽，且卡环与卡槽相适配。

3.根据权利要求1所述的一种新型节能半导体石墨热场，其特征在于：所述抽气泵（6）的正下方设置有安装板。

4.根据权利要求1所述的一种新型节能半导体石墨热场，其特征在于：所述吸热片（10）为铝合金材料。

5.根据权利要求1所述的一种新型节能半导体石墨热场，其特征在于：所述导流筒（12）内设置有仓体，其仓体内设置有保温棉。

6.根据权利要求1所述的一种新型节能半导体石墨热场，其特征在于：所述冷却管（8）有多个U型管组合成。