[发明专利]一种电化学电极PVD法提高阳极活性的阳极生产工艺在审
申请号: | 202010686415.4 | 申请日: | 2020-07-16 |
公开(公告)号: | CN112011758A | 公开(公告)日: | 2020-12-01 |
发明(设计)人: | 王江辉;刘天伦 | 申请(专利权)人: | 西安怡速安智能科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/16 | 分类号: | C23C14/16;C23C14/24;C23C14/58;C23C24/06;C23C28/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 710000 陕西省西安市雁塔区红*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电化学 电极 pvd 提高 阳极 活性 生产工艺 | ||
1.一种电化学电极PVD法提高阳极活性的阳极生产工艺,其特征在于:所述该生产工艺包括以下步骤:
步骤(一):在钛基体上沉积二元合金膜层:
步骤(二):对制备钛薄膜进行氧化处理;
步骤(三):混合活性物质粉料和导电挤粉料;
步骤(四):将混合粉料压制在钛基体的外表面;
步骤(五):烘干、冷却,并对钛棒表面进行填充;
步骤(六):真空保存。
2.根据权利要求1所述的一种电化学电极PVD法提高阳极活性的阳极生产工艺,其特征在于:所述步骤(二)的氧化处理包含以下步骤:
步骤1:对钛薄膜进行喷砂处理,去除原有氧化膜;
步骤2:将氧气均匀的喷涂在处理后钛薄膜的表面,经过高温处理形成金属氧化层;
步骤3:采用双源蒸发EB-PVD制备合金膜,通过调整基板温度、沉积速率、靶基距、蒸汽入射角优化制备工艺。
3.根据权利要求2所述的一种电化学电极PVD法提高阳极活性的阳极生产工艺,其特征在于:所述步骤2中氧化温度为600℃~800℃,氧化时间为8~10min,高温炉内的升温速率为10℃~15℃/min。
4.根据权利要求1所述的一种电化学电极PVD法提高阳极活性的阳极生产工艺,其特征在于:所述步骤(三)中导电剂粉料、粘结剂粉料按照30~100∶2~10∶5~15的比例搅拌混合。
5.根据权利要求1所述的一种电化学电极PVD法提高阳极活性的阳极生产工艺,其特征在于:所述步骤(四)的压制处理包含以下步骤;
步骤4:将步骤(三)中的混合粉料通过混料装置进行均匀混合;
步骤5:再将混合好得混合料粉和步骤(二)放入压制装置中,使混合料粉均匀压制在钛基体的表面。
6.根据权利要求5所述的一种电化学电极PVD法提高阳极活性的阳极生产工艺,其特征在于:所述步骤4中在混合时需要加入丙烯酰胺和丙烯酸,再将混合凝胶化剂和亚甲基双丙烯酰胺,然后在压制装置内加入氯化钾、四氟硼酸和过氧化氢。
7.根据权利要求6所述的一种电化学电极PVD法提高阳极活性的阳极生产工艺,其特征在于:所述将丙烯酰胺和丙烯酸以2∶1的比例混合,丙烯酰胺和丙烯酸占功能芯总质量的60%,再将混合凝胶化剂和亚甲基双丙烯酰胺以1∶1的比例混合,混合凝胶化剂和亚甲基双丙烯酰胺占功能芯总质量的50%,并且氯化钾搅、四氟硼酸和过氧化氢的质量比为1:1:2。
8.根据权利要求1所述的一种电化学电极PVD法提高阳极活性的阳极生产工艺,其特征在于:所述步骤(五)的烘干、冷却处理包含以下步骤;
步骤6:将混合好的钛基体通过蒸馏盒进行收纳;
步骤7:将其放入烘烤炉中进行脱水处理;
步骤8:再将烘烤炉中蒸馏盒取出,带温度降下后取出蒸馏盒内部的钛基体;
步骤9:在钛基体的内表面的封装孔上焊接铜丝;
步骤10:再对钛基体的外表面填充凝胶体。
9.根据权利要求8所述的一种电化学电极PVD法提高阳极活性的阳极生产工艺,其特征在于:所述步骤7中烘烤炉的烘烤时间为30~50min,烘烤室内的温度为140~170℃。
10.根据权利要求8所述的一种电化学电极PVD法提高阳极活性的阳极生产工艺,其特征在于:所述步骤10中的凝胶体通过由二氧化硅构成骨架的二氧化硅气凝胶及二氧化硅干凝胶、以及作为由倍半硅氧烷结构等有机聚硅氧烷构成骨架的有机-无机混合凝胶的气凝胶及干凝胶形成。
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