[发明专利]主动元件基板及其制造方法

说明书

一种主动元件基板，包括基板、多条第一金属栅线、第一透明导电层、栅绝缘层、半导体层、源极以及漏极。第一金属栅线位于基板上。第一透明导电层包括扫描线以及连接扫描线的栅极。扫描线及/或栅极直接连接至少部分第一金属栅线。栅绝缘层位于第一透明导电层上。半导体层位于栅绝缘层上，且重叠于栅极。源极以及漏极电性连接半导体层。

技术领域

本发明是有关于一种主动元件基板，且特别是有关于一种包括多条金属栅线的主动元件基板及其制造方法。

背景技术

近年来，随着显示技术的不断进步，消费者对于显示器的显示质量的要求也越来越高。为了制造高效能的显示器，显示装置需要具备足够高的影像分辨率。一般而言，为了要增加液晶显示面板的分辨率，必须增加每单位面积中的像素的数量，同时，为了提供信号给这些像素，液晶显示面板中导线的密度也势必需要随之增加。然而，液晶显示面板的显示区中的导线会遮蔽光线，使像素的开口率因为导线密度增加而减小。

发明内容

本发明提供一种主动元件基板，可以减少扫描线对开口率的影响。

本发明提供一种主动元件基板的制造方法，可以减少扫描线对开口率的影响。

本发明的至少一实施例提供一种主动元件基板。主动元件基板包括基板、多条第一金属栅线、第一透明导电层、栅绝缘层、半导体层、源极以及漏极。第一金属栅线位于基板上。第一透明导电层包括扫描线以及连接扫描线的栅极。扫描线及/或栅极直接连接至少部分第一金属栅线。栅绝缘层位于第一透明导电层上。半导体层位于栅绝缘层上，且重叠于栅极。源极以及漏极电性连接半导体层。

本发明的至少一实施例提供一种主动元件基板的制造方法，包括：形成多条第一金属栅线于基板上；形成绝缘图案层于第一金属栅在线；形成第一透明材料层于绝缘图案层上；图案化第一透明材料层以形成第一透明导电层，其中第一透明导电层包括扫描线以及连接扫描线的栅极；形成栅绝缘层于第一透明导电层上；形成半导体层于栅绝缘层上，且半导体层重叠于栅极；以及形成源极以及漏极于半导体层上。

本发明的至少其中一目的为增加像素的开口率。

本发明的至少其中一目的为降低导线阻抗。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1A至图1J是依照本发明的一实施例的一种主动元件基板的制造方法的剖面示意图。

图2A至图2C是依照本发明的一实施例的一种主动元件基板的制造方法的俯视示意图。

图3是依照本发明的一实施例的一种主动元件基板的俯视示意图。

图4是图3线XX’的剖面示意图。

图5是依照本发明的一实施例的一种主动元件基板的剖面示意图。

图6是依照本发明的一实施例的一种主动元件基板的剖面示意图。

图7是依照本发明的一实施例的一种主动元件基板的剖面示意图。

图8是依照本发明的一实施例的一种主动元件基板的剖面示意图。

图9是依照本发明的一实施例的一种主动元件基板的剖面示意图。

图10是依照本发明的一实施例的一种主动元件基板的剖面示意图。

图11是依照本发明的一实施例的一种主动元件基板的剖面示意图。

图12是依照本发明的一实施例的一种主动元件基板的剖面示意图。

图13是依照本发明的一实施例的一种主动元件基板的剖面示意图。

图14是依照本发明的一实施例的一种主动元件基板的剖面示意图。