[发明专利]纳米晶体软磁性合金材料和磁性部件

权利要求书

1.一种纳米晶体软磁性合金材料，是含有纳米晶体的软磁性合金材料，

具有Fe_{100-a-b-c-d-e-f}M1_aP_bCu_cCo_dNi_eM2_f的合金组成，

在所述合金组成中，

M1为选自Si、B和C中的至少1种元素，

M2为选自V、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta、W、Sn、Bi和In中的至少1种元素，

对于与将所述合金组成的整体设为100摩尔份时的各摩尔份对应的a、b、c、d、e和f，

3≤a≤20，

1≤b≤10，

0.1≤c≤1.5，

0≤d≤5，

0≤e≤5，

0≤f≤3，

在所述软磁性合金材料的从表面至深度30nm的表面区域中具有平均29原子％以上的O元素。

2.根据权利要求1所述的纳米晶体软磁性合金材料，其中，所述M1至少包含Si，在所述表面区域至少含有所述O元素和Si元素。

3.根据权利要求1或2所述的纳米晶体软磁性合金材料，其中，所述M1至少包含Si，将所述合金组成的整体设为100摩尔份时，Si元素量为0.5摩尔份～10摩尔份。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的纳米晶体软磁性合金材料，其中，在所述表面区域至少含有所述O元素和P元素。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的纳米晶体软磁性合金材料，其中，在所述软磁性合金材料的从表面至深度100nm的表面区域中含有平均0.1原子％以上的P元素。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的纳米晶体软磁性合金材料，其中，将所述合金组成的整体设为100摩尔份时，P元素量为2摩尔份～10摩尔份。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的纳米晶体软磁性合金材料，其中，所述软磁性合金材料的从表面至深度100nm的表面区域中的P元素的平均含量少于与该表面区域相比更靠内侧的该软磁性合金材料的中央区域中的P元素的平均含量。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的纳米晶体软磁性合金材料，其中，所述软磁性合金材料的从表面至深度20nm的表面区域中的Cu元素的含量最大值与比该表面区域更靠内侧的从所述深度20nm但不包括20nm至深度40nm的内部区域中的Cu元素的含量最大值之间的彼此的相对比在1～2.5的范围。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的纳米晶体软磁性合金材料，其中，在所述软磁性合金材料的从表面至深度30nm的表面区域中含有平均30原子％以上的Fe元素。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的纳米晶体软磁性合金材料，其中，在所述软磁性合金材料的表面含有氧化铁、氧化硅和/或铁与硅的复合氧化物。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的纳米晶体软磁性合金材料，其中，所述软磁性合金材料具有薄带形态或粉末形态。

12.一种磁性部件，含有权利要求1～11中任一项所述的纳米晶体软磁性合金材料。