[发明专利]光斑尺寸转换器及其制造方法

权利要求书

1.一种光斑尺寸转换器，包括：

包括第一芯层的第一波导，所述第一波导传播光；以及

包括第二芯层并且被设置在所述第一波导上的第二波导，所述第二波导传播光，

其中，

所述第一波导和所述第二波导在波导方向上延伸，

沿所述波导方向连续地设置有第一区域和第二区域，

在所述第一区域中，所述第二波导在横截面中具有锥形形状，所述锥形形状随着远离所述第一波导而变得更窄，以及

所述第二波导的侧表面与所述第二波导的底表面之间的角度为60°或更小。

2.根据权利要求1所述的光斑尺寸转换器，其中，

所述第二波导包括被设置在所述第一芯层和所述第二芯层之间的第一包覆层，以及

所述第二芯层和所述第一包覆层在所述横截面中被包括在所述锥形形状中。

3.根据权利要求1或2所述的光斑尺寸转换器，其中，

所述第二波导包括被设置在所述第二芯层上的第二包覆层，以及

所述第一区域中的所述第二包覆层比所述第二区域中的所述第二包覆层薄，或者所述第二包覆层中不被设置在所述第一区域中。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的光斑尺寸转换器，其中，

所述第一波导具有宽度从所述第一区域到所述第二区域减小的锥形部分，并且

所述第二波导具有宽度从所述第二区域到所述第一区域减小的锥形部分。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的光斑尺寸转换器，其中，所述第一区域在与所述第二区域相反的一侧上具有输入/输出表面。

6.一种制造光斑尺寸转换器的方法，包括以下步骤：

以此顺序形成具有第一芯层的第一波导和具有第二芯层的第二波导；以及

蚀刻所述第二波导以在横截面中形成锥形形状，所述锥形形状随着其移动远离所述第一波导而变得更窄，

其中，

所述第二波导的侧表面与所述第二波导的底表面之间的角度为60度或更小。

7.根据权利要求6所述的制造光斑尺寸转换器的方法，其中，

所述第二波导包括所述第二芯层和被设置在所述第二芯层上的包覆层，

所述包覆层包括蚀刻停止层，

蚀刻所述第二波导的步骤包括以下子步骤：

湿蚀刻所述包覆层直到暴露所述蚀刻停止层，用于在所述包覆层中形成台面；以及

干蚀刻具有所述台面的所述包覆层和所述第二芯层。

8.根据权利要求7所述的制造光斑尺寸转换器的方法，其中，所述包覆层的所述台面在0-11方向上延伸。