[发明专利]光斑尺寸转换器及其制造方法

说明书

一种光斑尺寸转换器及其制造方法。该斑尺寸转换器包括：第一波导，该第一波导包括第一芯层，该第一波导传播光；以及，第二波导，该第二波导包括第二芯层并且被设置在第一波导上，该第二波导传播光。第一波导和第二波导在波导方向上延伸。沿着波导方向连续地设置有第一区域和第二区域。在第一区域中，第二波导在横截面中具有锥形形状，其随着远离第一波导而变得更窄。第二波导的侧表面与第二波导的底表面之间的角度为60°或更小。

技术领域

本发明涉及一种光斑尺寸转换器及制造其的方法。

背景技术

日本专利申请特开No.2002-519842公开了一种用于转换光的光斑尺寸的光斑尺寸转换器。

发明内容

光斑尺寸转换器具有例如光传播通过的两个波导。因此，光在波导之间转移。然而，波导之间的耦合弱，并且光的转换效率可能降低。因此，本公开的目的是提供一种能够提高转换效率的光斑尺寸转换器及制造其的方法。

根据本公开的光斑尺寸转换器包括：第一波导，该第一波导包括第一芯层，该第一波导传播光；以及，第二波导，该第二波导设置在第一波导的上方并包括第二芯层，该第二波导传播光。第一波导和第二波导在波导方向上延伸。沿着波导方向连续地设置有第一区域和第二区域。在第一区域中，第二波导在横截面中具有锥形形状，其随着远离第一波导而变得更窄。第二波导的侧表面与第二波导的底表面之间的角度为60°或更小。

根据本公开的制造光斑尺寸转换器的方法包括以下步骤：以此顺序形成第一波导和第二波导；以及蚀刻第二波导以在横截面中形成锥形形状，其随着远离第一波导而变得更窄。第二波导的侧表面与第二波导的底表面之间的角度为60°或更小。

附图说明

图1A是说明根据第一实施例的光斑尺寸转换器的横截面图。

图1B是说明根据第一实施例的光斑尺寸转换器的横截面图。

图1C是说明根据第一实施例的光斑尺寸转换器的横截面图。

图2A是说明光斑尺寸转换器的横截面图。

图2B是说明光斑尺寸转换器的横截面图。

图2C是说明光斑尺寸转换器的横截面图。

图3A是说明光斑尺寸转换器的横截面图。

图3B是说明光斑尺寸转换器的横截面图。

图4是示出转换效率的计算结果的图。

图5A是说明制造光斑尺寸转换器的方法的横截面图。

图5B是说明制造光斑尺寸转换器的方法的平面图。

图5C是说明制造光斑尺寸转换器的方法的平面图。

图6A是说明制造光斑尺寸转换器的方法的横截面图。

图6B是说明制造光斑尺寸转换器的方法的横截面图。

图7A是说明制造光斑尺寸转换器的方法的横截面图。

图7B是说明制造光斑尺寸转换器的方法的横截面图。

图8是说明制造光斑尺寸转换器的方法的横截面图。

图9A是说明制造光斑尺寸转换器的方法的横截面图。

图9B是说明制造光斑尺寸转换器的方法的横截面图。

图9C是说明制造光斑尺寸转换器的方法的横截面图。

图10A是说明制造光斑尺寸转换器的方法的横截面图。

图10B是说明制造光斑尺寸转换器的方法的横截面图。