[发明专利]多工位点胶机的上下料机构及具有其的多工位点胶机

权利要求书

1.一种多工位点胶机的上下料机构，其特征在于，包括：

上下料机体，所述上下料机体内限定有活动空间，所述上下料机体的两端分别设有与所述活动空间连通的料口，所述上下料机体的两侧分别设有至少两个加工工位；

活动件，所述活动件在两个所述料口之间可活动地设在所述活动空间内；

取料件，所述取料件可活动地设在所述活动件上以从所述料口或所述加工工位上下料。

2.根据权利要求1所述的多工位点胶机的上下料机构，其特征在于，所述上下料机体形成为开口向下的匚形，所述上下料机体的每个支脚上分别设有所述料口。

3.根据权利要求2所述的多工位点胶机的上下料机构，其特征在于，还包括：

两个料盒，两个所述料盒分别设在两个所述支脚上与所述料口相对应的位置，所述取料件的至少一部分伸出所述料口进入所述料盒内进行上下料。

4.根据权利要求1所述的多工位点胶机的上下料机构，其特征在于，还包括：

上下料传送机构，所述上下料传送机构设在两个所述料口之间，所述上下料传送机构的至少一部分在两个所述料口之间可活动以驱动所述活动件活动。

5.根据权利要求1所述的多工位点胶机的上下料机构，其特征在于，所述取料件包括：

机械手，所述机械手的一端与所述活动件相连，所述机械手的另一端可活动；

托盘，所述托盘设于所述机械手的另一端，所述托盘用于承接晶圆。

6.根据权利要求1所述的多工位点胶机的上下料机构，其特征在于，所述取料件为两个，两个所述取料件分别可活动以独立上下料。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的多工位点胶机的上下料机构，其特征在于，所述上下料机体的两侧分别设有两个加工工位，每个所述加工工位上分别设有一个点胶机。

8.根据权利要求7所述的多工位点胶机的上下料机构，其特征在于，位于所述上下料机体的一侧的两个所述点胶机之间设有对位装置，位于所述上下料机体的另一侧的两个所述点胶机之间设有晶圆预热机构。

9.根据权利要求1所述的多工位点胶机的上下料机构，其特征在于，还包括：

晶圆检测装置，所述晶圆检测装置对每个所述加工工位进行检测以判断所述加工工位上是否有晶圆，所述活动件和所述取料件根据所述晶圆检测装置的检测结果活动至对应工位进行上下料。

10.一种多工位点胶机，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的多工位点胶机的上下料机构。