[发明专利]用于晶圆翻转的机械手及机器人

权利要求书

1.一种用于晶圆翻转的机械手，其特征在于，包括：

基座；

夹紧单元，所述夹紧单元与所述基座相连，用于对晶圆进行夹紧；

翻转单元，所述翻转单元与所述基座相连，用于对所述基座进行翻转。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆翻转的机械手，其特征在于，所述夹紧单元包括：

至少一个第一固定件，所述第一固定件设于所述基座上，所述第一固定件的侧面设有第一限位槽；

第二固定件，所述第二固定件滑动设于所述基座上，所述第二固定件的朝向所述第一固定件的侧面上设有第二限位槽，所述第二限位槽和所述第一限位槽用于共同夹紧所述晶圆。

3.根据权利要求2所述的用于晶圆翻转的机械手，其特征在于，所述第一限位槽和所述第二限位槽为V型槽，且所述第一限位槽的槽底和所述第二限位槽的槽底处于同一高度。

4.根据权利要求3所述的用于晶圆翻转的机械手，其特征在于，所述V型槽包括：

支撑面；

夹紧面，所述夹紧面与所述支撑面成夹角设置，且所述支撑面与水平方向形成的锐角夹角小于所述夹紧面与水平方向形成的锐角夹角。

5.根据权利要求3所述的用于晶圆翻转的机械手，其特征在于，所述V型槽所形成的夹角小于等于90°。

6.根据权利要求2所述的用于晶圆翻转的机械手，其特征在于，所述基座包括：

连接端，所述连接端的一侧与所述翻转单元相连，所述连接端的另一侧设有所述第二固定件；

至少一个伸出端，所述伸出端与所述连接端的底部相连，所述伸出端上设有所述第一固定件。

7.根据权利要求6所述的用于晶圆翻转的机械手，其特征在于，所述伸出端的数量为两个，两个所述伸出端相互间隔设置，两个所述伸出端上分别设有所述第一固定件。

8.根据权利要求2所述的用于晶圆翻转的机械手，其特征在于，所述机械手还包括伸缩单元，所述伸缩单元设于所述基座上，所述伸缩单元的伸出端与所述第二固定件相连，用于控制所述第二固定件朝向或远离所述第一固定件运动。

9.根据权利要求2所述的用于晶圆翻转的机械手，其特征在于，所述第一限位槽和所述第二限位槽内设有缓冲件，或所述第一固定件和所述第二固定件为缓冲件。

10.一种机器人，其特征在于，具有根据权利要求1至9中任一项所述的用于晶圆翻转的机械手。