[发明专利]压电微泵及气体检测装置在审
申请号: | 202010704824.2 | 申请日: | 2020-07-21 |
公开(公告)号: | CN111911396A | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 钭忠尚;孟锴 | 申请(专利权)人: | 南昌欧菲显示科技有限公司 |
主分类号: | F04B45/047 | 分类号: | F04B45/047;F04B39/10;F04B39/08;F04B39/12;G01N33/00 |
代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 陈实顺 |
地址: | 330013 江西省南昌*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 气体 检测 装置 | ||
1.一种压电微泵,其特征在于,包括:
泵体,一端具有开口的泵腔;
盖体,设置于所述泵体的一端,且覆盖所述泵腔的开口,所述盖体具有与所述泵腔相连通的进气口和出气口;
第一悬臂梁,设于所述盖体的一侧,且与所述泵体相对设置,所述第一悬臂梁在通电情况下朝靠近或远离所述泵体的方向振动,以封堵或打开所述进气口;及
第二悬臂梁,设于所述盖体的与所述第一悬臂梁相对的另一侧,且与所述泵体相对设置,所述第二悬臂梁在通电情况下朝靠近或远离所述泵体的方向振动,以封堵或打开所述出气口;
其中所述第二悬臂梁与所述第一悬臂梁的振动方向相反。
2.如权利要求1所述的压电微泵,其特征在于,所述泵体靠近所述盖体的表面设有与所述泵腔连通的第一收容槽,所述第一收容槽与所述第一悬臂梁相对设置,所述第一悬臂梁在通电情况下朝靠近所述泵体的方向振动至所述第一收容槽内,以使所述第一悬臂梁的一端抵接于所述第一收容槽的侧壁并封堵所述进气口。
3.如权利要求2所述的压电微泵,其特征在于,所述第一悬臂梁包括:
第一基板,设于所述盖体的一侧,且与所述泵体相对设置;及
第一压电促进器,设于所述第一基板,所述第一压电促进器在通电情况下带动所述第一基板朝靠近所述泵体的方向振动至所述第一收容槽内,以使所述第一基板的一端抵接于所述第一收容槽的侧壁。
4.如权利要求3所述的压电微泵,其特征在于,所述第一悬臂梁还包括:
第一配重件,设于所述第一基板远离所述盖体的一端,所述第一配重件在所述第一基板振动至所述第一收容槽内后抵接于所述第一收容槽的侧壁。
5.如权利要求1所述的压电微泵,其特征在于,所述泵体靠近所述盖体的表面设有与所述泵腔连通的第二收容槽,所述第二收容槽与所述第二悬臂梁相对设置,所述第二悬臂梁在通电情况下朝靠近所述泵体的方向振动至所述第二收容槽内,以使所述第二悬臂梁的一端抵接于所述第二收容槽的侧壁并封堵所述出气口。
6.如权利要求5所述的压电微泵,其特征在于,所述第二悬臂梁包括:
第二基板,设于所述盖体的与所述第一悬臂梁相对的一侧,且与所述盖体相对设置;及
第二压电促进器,设于所述第二基板,所述第二压电促进器在通电情况下带动所述第二基板朝靠近所述泵体的方向振动至所述第二收容槽内,以使所述第二基板的一端抵接于所述第二收容槽的侧壁。
7.如权利要求6所述的压电微泵,其特征在于,所述第二悬臂梁还包括:
第二配重件,设于所述第二基板远离所述盖体的一端,所述第二配重件在所述第二基板振动至所述第二收容槽内后抵接于所述第二收容槽的侧壁。
8.如权利要求1所述的压电微泵,其特征在于,所述盖体靠近所述泵体的一侧设有进气槽和出气槽,所述进气槽和所述出气槽位于所述盖体的相对的两端,所述进气槽的一端与所述泵腔连通,所述进气口设于所述进气槽的另一端,所述第一悬臂梁设于所述进气槽的槽壁;所述出气槽的一端与所述泵腔连通,所述出气口设于所述出气槽的另一端,所述第二悬臂梁设于所述出气槽的槽壁。
9.如权利要求8所述的压电微泵,其特征在于,所述第一悬臂梁在通电情况下朝远离所述泵体的方向振动且其一端抵接于所述进气槽的另一槽壁,所述第一悬臂梁朝远离所述泵体方向的振动幅度大于所述第二悬臂梁朝远离所述泵体方向的振动幅度。
10.如权利要求9所述的压电微泵,其特征在于,所述盖体远离所述泵体的一侧设有分别与所述进气槽和/或所述出气槽连通的通气孔。
11.一种气体检测装置,其特征在于,包括:
如权利要求1-10中任意一项的压电微泵;
气体传感器,设于所述压电微泵的泵腔内;及
加热器,设于所述压电微泵的泵腔内,且与所述气体传感器连接。
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