[发明专利]压电微泵及气体检测装置

说明书

本发明公开了一种压电微泵及气体检测装置。压电微泵包括：泵体，一端具有开口的泵腔；盖体，设置于泵体的一端，且覆盖泵腔的开口，盖体具有与泵腔相连通的进气口和出气口；第一悬臂梁，设于盖体的一侧，且与所述泵体相对设置，第一悬臂梁在通电情况下朝靠近或远离泵体的方向振动；及第二悬臂梁，设于盖体的与第一悬臂梁相对的一侧，且与泵体相对设置，第二悬臂梁在通电情况下朝靠近或远离泵体的方向振动；其中第二悬臂梁与第一悬臂梁的振动方向相反。上述的压电微泵通过对第一悬臂梁和第二悬臂梁持续通电可使进气口和出气口规律性地进气和出气，安装在泵腔内的气体传感器能够快速地探测气体，效率较高。

技术领域

本发明涉及气体感测领域，具体涉及一种压电微泵及气体检测装置。

背景技术

气体传感器已经在生产制造、环境检测、医疗健康等领域被大量使用，尤其是在物联网技术飞速发展的当下，工业端或消费者对气体传感器的需求会越来越大。人们生活水平日益提高后，大家对空气质量，身体健康的关注度增加，气体传感器的应用需求飞速增长。气体传感器的主要类型包括电化学型，催化燃烧型和半导体型，这些类型的传感器多用于工业或室内的气体浓度检测、人体呼吸气体的检测。

目前市场上的气体传感器通常对自由扩散流通的气体进行检测。在实现本申请的过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题：此种探测方式会造成气体传感器在感知或探测气体时反应慢且恢复慢，动态气体检测性的效率较差。

发明内容

鉴于以上内容，有必要提出一种压电微泵及气体检测装置，以解决上述问题。

本申请之一实施例提供一种压电微泵，包括：

泵体，一端具有开口的泵腔；

盖体，设置于所述泵体的一端，且覆盖所述泵腔的开口，所述盖体具有与所述泵腔相连通的进气口和出气口；

第一悬臂梁，设于所述盖体的一侧，且与所述泵体相对设置，所述第一悬臂梁在通电情况下朝靠近或远离所述泵体的方向振动，以封堵或打开所述进气口；及

第二悬臂梁，设于所述盖体的与所述第一悬臂梁相对的一侧，且与所述泵体相对设置，所述第二悬臂梁在通电情况下朝靠近或远离所述泵体的方向振动，以封堵或打开所述出气口；

其中所述第二悬臂梁与所述第一悬臂梁的振动方向相反。

上述的压电微泵的第一悬臂梁在通电情况下朝靠近或远离泵体的方向振动，封堵或打开进气口；第二悬臂梁在通电情况下朝靠近或远离泵体的方向振动，封堵或打开所述出气口；由于第二悬臂梁与第一悬臂梁的振动方向相反，通过对第一悬臂梁和第二悬臂梁持续通电可使进气口和出气口规律性的进气和出气，安装在泵腔内的气体传感器能够快速地探测气体，效率较高。

在一些实施例中，所述泵体靠近所述盖体的表面设有与所述泵腔连通的第一收容槽，所述第一收容槽与所述第一悬臂梁相对设置，所述第一悬臂梁在通电情况下朝靠近所述泵体的方向振动至所述第一收容槽内，以使所述第一悬臂梁的一端抵接于所述第一收容槽的侧壁并封堵所述进气口。

如此，第一悬臂梁振动至第一收容槽内时，第一悬臂梁的一端可抵接于所述第一收容槽的侧壁并封堵进气口。

在一些实施例中，所述第一悬臂梁包括：

第一基板，设于所述盖体的一侧，且与所述泵体相对设置；及

第一压电促进器，设于所述第一基板，所述第一压电促进器在通电情况下带动所述第一基板朝靠近所述泵体的方向振动至所述第一收容槽内，以使所述第一基板的一端抵接于所述第一收容槽的侧壁。

如此，第一压电促进器在通电情况下可带动第一基板振动至第一收容槽内，以使第一基板的一端抵接于第一收容槽的侧壁并封堵进气口。

在一些实施例中，所述第一悬臂梁还包括：