[发明专利]一种铜基金刚石散热片及其制备方法有效
申请号: | 202010705770.1 | 申请日: | 2020-07-21 |
公开(公告)号: | CN111805988B | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 蒋孟瑶;蒋向上 | 申请(专利权)人: | 蒋孟瑶 |
主分类号: | B32B9/00 | 分类号: | B32B9/00;B32B9/04;B32B15/04;B32B15/20;B32B33/00;B32B37/06;B32B37/10;C22C9/00;B22F3/14;B22F3/24;H01L23/367;H01L23/373 |
代理公司: | 长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114 | 代理人: | 钟丹;魏娟 |
地址: | 410011 湖南省长沙*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基金 刚石 散热片 及其 制备 方法 | ||
1.一种铜基金刚石散热片的制备方法,其特征在于:包括如下步骤:
步骤1
按一层软质材料,一条铜箔、一层金刚石颗粒、再一条铜箔、一层软质材料的层叠方式,将待成型的一片或2片铜基金刚石散热片组装于石墨模具中,常温下双向压制获得冷压坯;
步骤2
然后将冷压坯进行净化热处理,净化热处理后所得坯体进行真空恒温保存,所述净化热处理的温度≤600℃,
步骤3
将步骤2所得坯体置于热压机上,上下同时加压、加温压制,即铜基金刚石散热;
所述铜基金刚石散热片依次包括铜箔底层、金刚石颗粒层、铜箔顶层;所述铜箔底层与铜箔顶层的成分均由铜、银组成,按质量比计,铜:银=7-8:2-3;
所述铜箔底层、铜箔顶层的厚度均为0.07~0.1㎜。
2.根据权利要求1所述的一种铜基金刚石散热片的制备方法,其特征在于:步骤1中,所述铜箔的制备方法为:按设计比例配取纯铜粉、纯银粉,混合,获得混合粉,将混合粉于为680℃~750℃的温度热压成型,然后再延伸成0.07~0.1㎜厚度的铜箔。
3.根据权利要求2所述的一种铜基金刚石散热片的制备方法,其特征在于:所述纯铜粉、纯银粉的粒径均小于1μm。
4.根据权利要求1所述的一种铜基金刚石散热片的制备方法,其特征在于:步骤1中,在铜基金刚石散热片组装过程中,金刚石颗粒放置时,使模具振动;
步骤1中,双向压制的压力为20~30MPa。
5.根据权利要求1所述的一种铜基金刚石散热片的制备方法,其特征在于:步骤2中,所述净化热处理的温度为480℃~600℃,净化热处理的时间为6至36小时,真空度≤-3Kpa。
6.根据权利要求1所述的一种铜基金刚石散热片的制备方法,其特征在于:步骤3中,所述压制过程中,压强≥40Gpa,温度≤750℃,保压时间≥260s。
7.根据权利要求1所述的一种铜基金刚石散热片的制备方法,其特征在于:
所述铜基金刚石散热片中,金刚石颗粒层的质量分数为60%~94%。
8.根据权利要求1所述的一种铜基金刚石散热片的制备方法,其特征在于:
所述金刚石颗粒的晶型为单晶,形状为六面体,所述金刚石颗粒的粒径为10~60目;
所述金刚石颗粒含有铜镀层,所述铜镀层的厚度≤0.01毫米。
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