[发明专利]一种基板检测装置有效
申请号: | 202010707443.X | 申请日: | 2020-07-21 |
公开(公告)号: | CN111855669B | 公开(公告)日: | 2023-05-12 |
发明(设计)人: | 候志翰 | 申请(专利权)人: | 苏州精濑光电有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/01 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215124 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 检测 装置 | ||
1.一种基板检测装置,其特征在于,包括:
框体(1);
支撑机构(2),用于支撑待检测的基板,所述支撑机构(2)滑动连接于所述框体(1),以在第一状态和第二状态之间切换,所述支撑机构(2)处于所述第一状态和所述第二状态时在所述基板上的投影不重合;
所述支撑机构(2)包括上支撑组件,所述上支撑组件包括:
第一支撑条(21),多个所述第一支撑条(21)沿第一方向(L)平行设置,以支撑所述基板;所述第一支撑条(21)沿第二方向(M)延伸,所述第一支撑条(21)沿所述第二方向(M)的两端分别沿所述第一方向(L)滑动连接于所述框体(1);所述第一方向(L)与所述第二方向(M)垂直;
当所述支撑机构(2)处于所述第一状态时,所述第一支撑条(21)滑动至第一位置,当所述支撑机构(2)处于所述第二状态时,所述第一支撑条(21)滑动至第二位置。
2.根据权利要求1所述的基板检测装置,其特征在于,所述上支撑组件还包括:
第一连接板(22),所述第一支撑条(21)沿所述第二方向(M)的两端均连接有所述第一连接板(22),相邻的两个所述第一支撑条(21)通过所述第一连接板(22)连接。
3.根据权利要求1所述的基板检测装置,其特征在于,所述上支撑组件还包括:
上导向组件,所述上导向组件包括第一导轨(26)和与所述第一导轨(26)滑动连接的第一滑块(27);
所述第一导轨(26)的长度方向与所述第一方向(L)平行,所述第一支撑条(21)沿所述第二方向(M)的两端均连接有所述第一滑块(27),所述框体(1)上与所述第一滑块(27)对应的位置设置有所述第一导轨(26)。
4.根据权利要求2所述的基板检测装置,其特征在于,所述上支撑组件还包括:
第一驱动件(23),设置于所述框体(1)上,所述第一驱动件(23)的输出端与所述第一支撑条(21)或所述第一连接板(22)连接,以驱动所述第一支撑条(21)沿所述第一方向(L)移动。
5.根据权利要求1所述的基板检测装置,其特征在于,所述支撑机构(2)还包括下支撑组件,所述下支撑组件包括:
第二支撑条(24),沿所述第一方向(L)延伸,所述第二支撑条(24)沿所述第一方向(L)的两端分别沿第二方向(M)滑动连接于所述框体(1),且所述第二支撑条(24)与所述第一支撑条(21)滑动连接,以支撑所述第一支撑条(21);
当所述支撑机构(2)处于所述第一状态时,所述第二支撑条(24)滑动至第三位置,当所述支撑机构(2)处于所述第二状态时,所述第二支撑条(24)滑动至第四位置。
6.根据权利要求5所述的基板检测装置,其特征在于,所述第二支撑条(24)的数量不小于两个,所有的所述第二支撑条(24)沿所述第二方向(M)平行设置;所述下支撑组件还包括:
下连接板,所述第二支撑条(24)沿所述第一方向(L)的两端均连接有所述下连接板,相邻的两个所述第二支撑条(24)通过所述下连接板连接。
7.根据权利要求6所述的基板检测装置,其特征在于,所述下支撑组件还包括:
第二驱动件(25),设置于所述框体(1),所述第二驱动件(25)的输出端与所述第二支撑条(24)连接,以驱动所述第二支撑条(24)沿所述第二方向(M)移动。
8.根据权利要求5-7任意一项所述的基板检测装置,其特征在于,所述基板检测装还包括:
导向机构(3),所述第一支撑条(21)和所述第二支撑条(24)相交的位置均设置有所述导向机构(3),所述导向机构(3)为所述第一支撑条(21)沿所述第一方向(L)滑动提供导向,以及为所述第二支撑条(24)沿所述第二方向(M)滑动提供导向。
9.根据权利要求8所述的基板检测装置,其特征在于,所述导向机构(3)包括第三导轨(31)、第三滑块(32)、第四滑块(33)和第四导轨(34);所述第三导轨(31)连接于所述第二支撑条(24)上,且所述第三导轨(31)的长度方向与所述第二支撑条(24)的长度方向一致;所述第三滑块(32)滑动设置于所述第三导轨(31)上;所述第四滑块(33)与所述第三滑块(32)连接,并与所述第四导轨(34)滑动连接;所述第四导轨(34)连接于所述第一支撑条(21)上,且所述第四导轨(34)的长度方向与所述第一支撑条(21)的长度方向一致。
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