[发明专利]样品台及具有该样品台的椭偏仪

权利要求书

1.一种样品台，其特征在于，包括：

基台（70）；

与所述基台（70）连接的转动驱动机构，用于驱动所述基台（70）在第一方向和第三方向形成的平面，和/或第二方向和第三方向形成的平面内转动；

与所述转动驱动机构连接的线性驱动机构，用于驱动所述转动驱动机构在所述第一方向，和/或所述第二方向，和/或所述第三方向上往复运动；

其中，所述第一方向与所述第二方向垂直，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向形成的平面。

2.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述线性驱动机构包括：

沿第一方向分布的第一电控平移台（10），底部设置有电控升降平台（11），所述电控升降平台能够驱动所述第一电控平移台（10）在所述第三方向上往复运动；

沿第二方向分布的第二电控平移台（20），与所述第一电控平移台（10）上的第一连接件（12）连接，所述第一电控平移台（10）能够驱动所述第二电控平移台（20）沿所述第一方向上往复运动；

所述第二电控平移台（20）上的第二连接件（21）与所述转动驱动机构连接，能够驱动所述转动驱动机构在所述第二方向上往复运动。

3.根据权利要求2所述的样品台，其特征在于，所述转动驱动机构包括：

第一电控倾斜台（30），与所述第二连接件（21）连接，所述第二电控平移台（20）能够驱动所述第一电控倾斜台（30）在所述第二方向上往复运动；

第二电控倾斜台（40），与所述第一电控倾斜台（30）上的第一转动件（31）连接，所述第一电控倾斜台（30）能够驱动所述第二电控倾斜台（40）在所述第二方向和所述第三方向形成的平面内转动；

支架（50），与所述第二电控倾斜台（40）上的第二转动件（41）连接，所述第二电控倾斜台（40）能够驱动所述支架（50）在所述第一方向和所述第三方向形成的平面内转动；

连接架（60），与设置在所述支架（50）一端的驱动电机（51）的输出端连接，所述驱动电机（51）能够驱动所述连接架（60）在所述第二方向和所述第三方向形成的平面内转动；

所述基台（70）与所述连接架（60）连接，能够在所述连接架（60）的带动下在所述第二方向和所述第三方向形成的平面内转动。

4.根据权利要求3所述的样品台，其特征在于，

所述支架（50）的另一端设置有配重块。

5.根据权利要求3所述的样品台，其特征在于，

所述连接架（60）沿所述第一方向延伸形成，所述连接架（60）的一端与所述驱动电机（51）的输出端连接，另一端与所述基台（70）连接。

6.一种椭偏仪，其特征在于，包括如权利要求1至5中任一项所述的样品台。

7.根据权利要求6所述的椭偏仪，其特征在于，还包括控制器，所述控制器被配置为

控制线性驱动机构来驱动基台（70）在第三方向上往复运动，以获取清晰的样品图像。

8.根据权利要求7所述的椭偏仪，其特征在于，所述控制器还被配置为

控制线性调节机构来驱动基台（70）在第一方向和/或第二方向上往复运动，以确定所述样品图像的基准点。

9.根据权利要求7所述的椭偏仪，其特征在于，所述控制器还被配置为

控制线性驱动机构以预设步长驱动基台（70）分别沿第一方向，和/或第二方向，和/或第三方向运动，以确定所述样品图像上多个采集点。

10.根据权利要求7所述的椭偏仪，其特征在于，所述控制器还被配置为

控制转动驱动机构来驱动基台（70）在第一方向和第三方向形成的平面，和/或第二方向和第三方向形成的平面内转动。