[发明专利]样品台及具有该样品台的椭偏仪

说明书

本申请涉及一种样品台及具有该样品台的椭偏仪，该样品台包括：基台；与所述基台连接的转动驱动机构，用于驱动所述基台在第一方向和第三方向形成的平面，和/或第二方向和第三方向形成的平面内转动；与所述转动驱动机构连接的线性驱动机构，用于驱动所述转动驱动机构在所述第一方向，和/或所述第二方向，和/或所述第三方向上往复运动。本申请能够快速、精确地寻找出被测曲面样品的最佳测量点。

技术领域

本申请涉及光学测量技术领域，尤其是涉及一种样品台及具有该样品台的椭偏仪。

背景技术

椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。椭偏仪普遍用来测量平面样品，在使用椭偏仪对曲面样品进行测量时，需要定位到曲面的顶点(即最佳测量点)来进行测量，由于曲面样品的顶点对准较平面样品来说更加复杂，被测曲面样品在三维空间上任意一点上位置的微弱变化都会偏离最佳测量点，因此需要一种能够快速、准确地定位到被测曲面样品的最佳测量点的方式。

发明内容

为了能够快速准确地定位到被测样品曲面的顶点，本申请提供一种样品台及具有该样品台的椭偏仪。

第一方面，本申请提供一种样品台，包括：基台；与所述基台连接的转动驱动机构，用于驱动所述基台在第一方向和第三方向形成的平面，和/或第二方向和第三方向形成的平面内转动；与所述转动驱动机构连接的线性驱动机构，用于驱动所述转动驱动机构在所述第一方向，和/或所述第二方向，和/或所述第三方向上往复运动；其中，所述第一方向与所述第二方向垂直，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向形成的平面。

本申请在一较佳示例中可以进一步配置为，所述线性驱动机构包括：沿第一方向分布的第一电控平移台，底部设置有电控升降平台，所述电控升降平台能够驱动所述第一电控平移台在所述第三方向上往复运动；沿第二方向分布的第二电控平移台，与所述第一电控平移台上的第一连接件连接，所述第一电控平移台能够驱动所述第二电控平移台沿所述第一方向上往复运动；所述第二电控平移台上的第二连接件与所述转动驱动机构连接，能够驱动所述转动驱动机构在所述第二方向上往复运动。

本申请在一较佳示例中可以进一步配置为，所述转动驱动机构包括：第一电控倾斜台，与所述第二连接件连接，所述第二电控平移台能够驱动所述第一电控倾斜台在所述第二方向上往复运动；

第二电控倾斜台，与所述第一电控倾斜台上的第一转动件连接，所述第一电控倾斜台能够驱动所述第二电控倾斜台在所述第二方向和所述第三方向形成的平面内转动；支架，与所述第二电控倾斜台上的第二转动件连接，所述第二电控倾斜台能够驱动所述支架在所述第一方向和所述第三方向形成的平面内转动；连接架，与设置在所述支架一端的驱动电机的输出端连接，所述驱动电机能够驱动所述连接架在所述第二方向和所述第三方向形成的平面内转动；所述基台与所述连接架连接，能够在所述连接架的带动下在所述第二方向和所述第三方向形成的平面内转动。

本申请在一较佳示例中可以进一步配置为，所述支架的另一端设置有配重块。

本申请在一较佳示例中可以进一步配置为，所述连接架沿所述第一方向延伸形成，所述连接架的一端与所述驱动电机的输出端连接，另一端与所述基台连接。

第二方面，本申请提供了一种椭偏仪，包括如第一方面中任一项所述的样品台。

本申请在一较佳示例中可以进一步配置为，还包括控制器，所述控制器被配置为控制线性驱动机构来驱动基台在第三方向上往复运动，以获取清晰的样品图像。

本申请在一较佳示例中可以进一步配置为，所述控制器还被配置为控制线性调节机构来驱动基台在第一方向和/或第二方向上往复运动，以确定所述样品图像的基准点。

本申请在一较佳示例中可以进一步配置为，所述控制器还被配置为控制线性驱动机构以预设步长驱动基台分别沿第一方向，和/或第二方向，和/或第三方向运动，以确定所述样品图像上多个采集点。