[发明专利]一种铜磷蒸发料的处理工艺

说明书

本发明涉及一种铜磷蒸发料的处理工艺，所述处理工艺包括对所述铜磷蒸发料依次进行的第一酸洗、热等静压扩散处理、研磨、第二酸洗、清洗及干燥，得到处理后的铜磷蒸发料；其中，所述研磨至少进行3次。本发明提供的处理工艺通过在处理工艺中特定的位置引入热等静压扩散处理及多次的研磨，解决了酸洗后的氧化问题，使得处理后的铜磷蒸发料使得蒸镀得到的膜具有高的纯度及致密性。

技术领域

本发明涉及蒸镀领域，具体涉及一种铜磷蒸发料的处理工艺。

背景技术

蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的处理工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。蒸镀过程中的蒸发料的性能会影响蒸镀的结果。

CN111394697A公开了一种金属蒸发料的表面处理方法，所述方法包括以下步骤：将金属蒸发料采用有机溶剂进行超声波清洗；将超声波清洗后的金属蒸发料进行酸洗，酸洗所用酸洗液为无机混合酸；将酸洗后的金属蒸发料再次进行超声波清洗后干燥处理。本发明所述方法通过对金属蒸发料依次进行超声波清洗、酸洗，可有效去除蒸发料表面的杂质和氧化层，提高蒸发料的洁净度及纯度，纯度可达99.99％以上，有助于镀膜性能的提高；所述方法对于不同种类、形状的蒸发料均可适用，所述方法操作简单，易于工业化，所得产品合格率高。

CN108987273A公开了一种银蒸发料的表面处理方法，包括：提供银蒸发料；对所述银蒸发料进行离心研磨操作；在所述离心研磨操作后，对所述银蒸发料进行清洗操作；在所述清洗操作后，对所述银蒸发料进行干燥处理。本发明对银蒸发料进行离心研磨操作，以去除所述银蒸发料表面的氧化层，达到表面抛光的效果，相比采用酸洗操作以去除氧化层的方案，本发明可以避免酸洗溶液消耗所述银蒸发料的问题，从而在提高所述银蒸发料的表面光亮度和光滑度、提高所述银蒸发料纯度的同时，降低所述银蒸发料的消耗量，进而降低所述银蒸发料的制备成本。

即铜蒸发料在使用过程中为了保证蒸镀效果，需要进行处理。

发明内容

鉴于现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种铜磷蒸发料的处理工艺，本发明提供的处理工艺通过对蒸镀过程中铜磷蒸发料的处理，解决了酸洗后的氧化问题，也使得处理后的铜磷蒸发料使得蒸镀得到的膜具有高的纯度及致密性。

为达此目的，本发明采用以下处理工艺：

本发明提供了一种铜磷蒸发料的处理工艺，所述处理工艺包括对所述铜磷蒸发料依次进行的第一酸洗、热等静压扩散处理、研磨、第二酸洗、清洗及干燥，得到处理后的铜磷蒸发料；

其中，所述研磨至少进行3次。

本发明提供的处理工艺通过在处理工艺中特定的位置引入热等静压扩散处理及多次的研磨，解决了酸洗后的氧化问题，使得处理后的铜磷蒸发料使得蒸镀得到的膜具有高的纯度及致密性。

作为本发明优选的处理工艺，所述第一酸洗中所用的洗液包括硝酸溶液。

优选地，所述硝酸溶液的质量分数为25-40％，例如可以是25％、30％、35％或40％等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，所述第一酸洗的时间为1-2min，例如可以是1min、1.1min、1.2min、1.3min、1.4min、1.5min、1.6min、1.7min、1.8min、1.9min或2min等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。

作为本发明优选的处理工艺，所述热等静压扩散处理的绝对真空度为0.01-0.1Pa，例如可以是0.01Pa、0.02Pa、0.03Pa、0.04Pa、0.05Pa、0.06Pa、0.07Pa、0.08Pa、0.09Pa或0.1Pa等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。