[发明专利]用于测试的夹具、设备及系统

权利要求书

1.一种用于测试的夹具(10)，其特征在于，包括夹盖(111)、底座(112)、温度采集单元(116)和第一弹性件(118a)，所述夹盖(111)和所述底座(112)共同形成适于容纳待测器件(20)、温度采集单元(116)和第一弹性件(118a)的第一腔体(113)，所述待测器件(20)具有管脚，所述底座(112)设置有适于与所述管脚导电连接的探针(30)，所述温度采集单元(116)通过所述第一弹性件(118a)与所述夹盖(111)连接并适于与所述待测器件(20)抵接以采集所述待测器件(20)的温度信号，所述第一弹性件(118a)适于在所述温度采集单元(116)抵接于所述待测器件(20)时被压缩以使得所述管脚与所述探针(30)导电连接；

还包括：容纳于所述第一腔体(113)内的压力采集单元(117)，以及与所述压力采集单元(117)连接的第一控制模块(120)；所述压力采集单元(117)，适于在所述温度采集单元(116)抵接于所述待测器件(20)时采集所述待测器件(20)的压力信号以确定所述管脚受到的压力；所述第一控制模块(120)适于基于所述待测器件(20)的压力信号确定所述管脚受到的压力，并判断所述管脚受到的压力是否在预定压力范围内。

2.根据权利要求1所述的夹具(10)，其特征在于，包括容纳于所述第一腔体(113)内的加热单元(114)，其适于对所述待测器件(20)进行加热。

3.根据权利要求2所述的夹具(10)，其特征在于，包括容纳于所述第一腔体(113)内的热传导单元(115)，其适于将所述加热单元(114)产生的热量传导至所述待测器件(20)。

4.根据权利要求3所述的夹具(10)，其特征在于，所述温度采集单元(116)部分地容纳于所述热传导单元(115)内，其适于与所述待测器件(20)抵接的一端在所述第一弹性件(118a)没有被压缩时延伸至所述热传导单元(115)外。

5.根据权利要求1所述的夹具(10)，其特征在于，所述压力采集单元(117)固定于所述夹盖(111)，并通过所述第一弹性件(118a)与所述温度采集单元(116)连接。

6.根据权利要求1所述的夹具(10)，其特征在于，包括用以连接所述压力采集单元(117)和所述夹盖(111)的第二弹性件(118b)，其适于在所述温度采集单元(116)抵接于所述待测器件(20)时被压缩以使得所述压力采集单元(117)抵接于所述待测器件(20)。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的夹具(10)，其特征在于，所述第一弹性件(118a)适于在所述温度采集单元(116)抵接于所述待测器件(20)时被压缩以使得所述管脚受到的压力在预定压力范围内。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的夹具(10)，其特征在于，包括固定组件(119)，其连接所述夹盖(111)和所述底座(112)二者并适于调节所述二者之间的距离以使得所述管脚受到的压力在预定压力范围内。

9.根据权利要求8所述的夹具(10)，其特征在于，所述固定组件(119)包括分别设置于所述二者的第一螺纹孔(119a)、第二螺纹孔(119b)以及与所述第一螺纹孔(119a)和所述第二螺纹孔(119b)螺纹连接的螺钉(119c)，调节所述二者之间的距离通过改变所述螺钉(119c)在所述第一螺纹孔(119a)和/或所述第二螺纹孔(119b)中的位置实现。

10.根据权利要求8所述的夹具(10)，其特征在于，所述固定组件(119)包括设置于所述二者中的一者的内螺纹部(119e)以及设置于所述二者中的另一者的外螺纹部(119d)，所述内螺纹部(119e)和所述外螺纹部(119d)螺纹连接，调节所述二者之间的距离通过改变所述内螺纹部(119e)和所述外螺纹部(119d)之间连接的位置实现。