[发明专利]用于测试的夹具、设备及系统有效

专利信息
申请号: 202010712495.6 申请日: 2020-07-22
公开(公告)号: CN113967881B 公开(公告)日: 2023-07-28
发明(设计)人: 王延政;周培;詹超;石彬彬;季培成;宫鹏鹏;卓成龙 申请(专利权)人: 上海复旦微电子集团股份有限公司
主分类号: B25B11/00 分类号: B25B11/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 陆磊
地址: 200433 上海市杨浦区*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 用于 测试 夹具 设备 系统
【说明书】:

发明实施例提供一种用于测试的夹具、设备及系统。该夹具包括夹盖、底座、温度采集单元和第一弹性件,夹盖和底座共同形成适于容纳待测器件、温度采集单元和第一弹性件的第一腔体,底座设置有适于与待测器件的管脚导电连接的探针,温度采集单元通过第一弹性件与夹盖连接并适于与待测器件抵接以采集待测器件的温度信号,第一弹性件适于在温度采集单元抵接于待测器件时被压缩以使得管脚与探针导电连接。由于,温度采集单元与夹盖弹性连接,可使得温度采集单元抵接于待测器件时在夹盖与温度采集单元之间、温度采集单元和待测器件之间以及待测器件的管脚与探针之间均产生相互作用力,从而确保了待测器件的管脚与探针之间具有良好的接触性以及导电性。

技术领域

本发明涉及电子器件测试技术领域,尤其涉及一种用于测试的夹具、设备及系统。

背景技术

在对电子器件进行测试时,通常需要将待测器件固定于夹具内,并将待测器件与测试负载板通过探针导电连接。然而,在采用同一夹具对不同待测器件,尤其是具有不同厚度的待测器件,进行测试时,待测器件与探针之间的接触往往会存在欠压或过压的情况。在欠压的情况下,由于待测器件与探针之间接触性非常差,从而导致待测器件与探针之间无法完全导电连接。在过压的情况下,由于待测器件与探针之间接触过紧,使得待测器件的管脚受到的压力过大,从而导致待测器件很容易受损。如何保障待测器件与探针之间具有适当的接触,并使得待测器件与探针之间具有良好的导电性是当前亟需解决的问题。

发明内容

本发明实施例的目的在于,提供一种用于测试的夹具、设备及系统。

本发明实施例提供的用于测试的夹具,包括夹盖、底座、温度采集单元和第一弹性件,夹盖和底座共同形成适于容纳待测器件、温度采集单元和第一弹性件的第一腔体,待测器件具有管脚,底座设置有适于与管脚导电连接的探针,温度采集单元通过第一弹性件与夹盖连接并适于与待测器件抵接以采集待测器件的温度信号,第一弹性件适于在温度采集单元抵接于待测器件时被压缩以使得管脚与探针导电连接。

可选地,包括容纳于第一腔体内的加热单元,其适于对待测器件进行加热。

可选地,包括容纳于第一腔体内的热传导单元,其适于将加热单元产生的热量传导至待测器件。

可选地,温度采集单元部分地容纳于热传导单元内,其适于与待测器件抵接的一端在第一弹性件没有被压缩时延伸至热传导单元外。

可选地,包括容纳于第一腔体内的压力采集单元,其适于在温度采集单元抵接于待测器件时采集待测器件的压力信号以确定管脚受到的压力。

可选地,压力采集单元固定于夹盖,并通过第一弹性件与温度采集单元连接。

可选地,包括用以连接压力采集单元和夹盖的第二弹性件,其适于在温度采集单元抵接于待测器件时被压缩以使得压力采集单元抵接于待测器件。

可选地,包括与压力采集单元连接的第一控制模块,其适于基于待测器件的压力信号确定管脚受到的压力,并判断管脚受到的压力是否在预定压力范围内。

可选地,第一弹性件适于在温度采集单元抵接于待测器件时被压缩以使得管脚受到的压力在预定压力范围内。

可选地,包括固定组件,其连接夹盖和底座二者并适于调节二者之间的距离以使得管脚受到的压力在预定压力范围内。

可选地,固定组件包括分别设置于二者的第一螺纹孔、第二螺纹孔以及与第一螺纹孔和第二螺纹孔螺纹连接的螺钉,调节二者之间的距离通过改变螺钉在第一螺纹孔和/或第二螺纹孔中的位置实现。

可选地,固定组件包括设置于二者中的一者的内螺纹部以及设置于二者中的另一者的外螺纹部,内螺纹部和外螺纹部螺纹连接,调节二者之间的距离通过改变内螺纹部和外螺纹部之间连接的位置实现。

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