[发明专利]一种用于晶片标记的激光设备

权利要求书

1.一种用于晶片标记的激光设备，其特征在于，包括：

激光器，用于发射激光束；

扩束镜，用于对所述激光束进行扩束和准直；

光束调节单元，用于调节所述激光束的方向；

反射镜，用于改变所述激光束的方向；

聚焦镜头，用于对所述激光束进行聚焦，以使所述激光束垂直射出；以及

载台，所述载台包括一通孔，该通孔贯穿载台的上下表面；

其中，所述激光器，所述扩束镜，所述光束调节单元和所述反射镜在第一方向上依次设置，所述反射镜，所述聚焦镜头和所述载台在第二方向上依次设置，所述第一方向垂直所述第二方向；

当对激光设备进行校正时，校正区位于聚焦镜头和采集器之间，当对晶片进行标记工作时，不需要使用所述校正区；

当对晶片进行标记工作时，所述晶片设置在所述载台的通孔上；当对激光设备进行校正时，所述晶片不在所述载台上；

其中，所述载台的一端设置有采集器，所述载台的另一端设置有驱动单元，所述驱动单元带动所述载台进行直线运动，以将所述采集器移动至校正区内；当采集器进入校正区内时，采集部采集激光束，并在采集部上形成激光光斑；

其中，所述校正区内设置有多个校正点，当所述采集器进入所述校正区时，驱动单元带动采集器逐步移动，使得采集部的中心部与校正区内的每个校正点均重合，所述采集器采集到激光光斑相对于每个校正点的位置偏差，所述采集器将所述位置偏差发送至所述光束调节单元，以调整所述激光束的方向。

2.根据权利要求1所述的激光设备，其特征在于，还包括控制单元和旋转组件，所述控制单元连接所述旋转组件。

3.根据权利要求2所述的激光设备，其特征在于，所述光束调节单元设置在所述旋转组件上。

4.根据权利要求1所述的激光设备，其特征在于，当所述激光设备对所述晶片进行标记工作时，所述激光束照射至所述载台上。

5.根据权利要求1所述的激光设备，其特征在于，所述采集器内设置有采集部，所述采集部为相机。

6.根据权利要求1所述的激光设备，其特征在于，所述反射镜为平面反射镜，所述反射镜对所述激光束的反射率大于99.99％。

7.根据权利要求1所述的激光设备，其特征在于，还包括衰减器，所述衰减器位于所述激光器和所述扩束镜之间。

8.根据权利要求1所述的激光设备，其特征在于，所述激光束的波长在540-560nm。