[发明专利]一种激光裂片装置在审
| 申请号： | 202010722463.4 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN111790988A | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 吴勇平;陆昱成;董岱 | 申请（专利权）人： | 苏州科韵激光科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/38;B23K26/402 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市吴中区经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 激光 裂片 装置 | ||
1.一种激光裂片装置，其特征在于，包括：激光器和透镜裂片单元，所述透镜裂片单元位于所述激光器的出光路径上；
所述透镜裂片单元包括凸起结构，所述凸起结构位于所述透镜裂片单元背离所述工件载台一侧；
所述凸起结构包括凸形曲面，所述凸形曲面位于所述凸起结构背离所述工件载台一侧；
所述激光器发出的光束经过所述裂片透镜单元后形成椭圆形光束出射至所述工件载台。
2.根据权利要求1所述的激光切割装置，其特征在于，还包括扩束镜，所述扩束镜位于所述激光器的出光路径上，用于改变所述激光器出射光束的直径和发散角。
3.根据权利要求2所述的激光裂片装置，其特征在于，还包括反射镜，所述反射镜位于所述激光器与所述扩束镜之间的光路上，和/或位于所述扩束镜与所述透镜裂片单元之间的光路上。
4.根据权利要求1所述的激光裂片装置，其特征在于，所述凸形曲面满足：
所述激光器出射的光线经所述凸起曲面后形成椭圆形光束，所述透镜裂片单元将所述椭圆形光束入射至所述工件载台。
5.根据权利要求1所述的激光裂片装置，其特征在于，所述椭圆形光束长轴为15mm～50mm，所述椭圆形光束短轴为0～8mm。
6.根据权利要求1所述的激光裂片装置，其特征在于，所述透镜裂片单元还包括驱动结构，所述驱动结构用于驱动所述凸起结构沿平行于所述工件载台的平面移动。
7.根据权利要求1所述的激光裂片装置，其特征在于，所述激光器出射的激光波长为9.2um～10.6um。
8.根据权利要求1所述的激光裂片装置，其特征在于，还包括聚焦镜，所述聚焦镜位于所述凸起结构靠近所述工件载台一侧，用于改变所述凸起结构出射的椭圆形光束中长轴的大小。
9.根据权利要求1所述的激光裂片装置，其特征在于，所述凸形曲面包括圆柱体的部分侧面。
10.根据权利要求1所述的激光裂片装置，其特征在于，所述凸形曲面包括部分椭球面。
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