[发明专利]一种激光裂片装置

说明书

本发明公开了一种激光裂片装置。该激光裂片装置包括：激光器和透镜裂片单元，透镜裂片单元位于激光器的出光路径上；透镜裂片单元包括凸起结构，凸起结构位于透镜裂片单元背离工件载台一侧；凸起结构包括凸形曲面，凸形曲面位于凸起结构背离透镜裂片单元；激光器发出的光束经过裂片透镜单元后形成椭圆形光束出射至工件载台。在本发明实施例中，通过在激光器的出光路径上设置凸起结构，保证激光器出射的光线经凸起结构后形成椭圆形光束，避免激光直接入射至玻璃能量比较集中对玻璃造成损伤。

技术领域

本发明涉及激光精细加工领域，尤其涉及一种激光裂片装置。

背景技术

随着显示面板行业的快速发展，越来越多显示面板客户对液晶显示屏的质 量有了更高的要求。

现有技术中一般采用机械对液晶显示屏进行切割，但由于采用的机械切割 的方式容易使液晶显示屏出现崩边的现象，进而当继续采用振镜激光裂片的方 式对液晶显示屏进行裂片操作时，液晶显示屏会由于激光能量比较集中对液晶 显示屏产生二次伤害，导致玻璃强度降低，在后续生产工序中液晶显示屏极易 损坏，使得生产良品率下降，生产成本提高。

发明内容

本发明实施例提供一种激光裂片装置，降低了采用激光光束进行裂片时对 玻璃的损伤情况。

本发明实施例提供了一种激光裂片装置，包括：激光器和透镜裂片单元， 所述透镜裂片单元位于所述激光器的出光路径上；

所述透镜裂片单元包括凸起结构，所述凸起结构位于所述透镜裂片单元背 离所述工件载台一侧；

所述凸起结构包括凸形曲面，所述凸形曲面位于所述凸起结构背离所述透 镜裂片单元；

所述激光器发出的光束经过所述裂片透镜单元后形成椭圆形光束出射至所 述工件载台。

可选的，还包括扩束镜，所述扩束镜位于所述激光器的出光路径上，用于 改变所述激光器出射光束的直径和发散角。

可选的，还包括反射镜，所述反射镜位于所述激光器和所述扩束镜之间的 光路上，和/或位于所述扩束镜和所述透镜裂片单元的光路上。

可选的，所述凸形曲面满足：

所述激光器出射的光线经所述凸起曲面后形成椭圆形光束，所述透镜裂片 单元将所述椭圆形光束垂直入射至所述工件。

可选的，所述椭圆形光束长轴为15mm～50mm，所述椭圆形光束短轴为 0～8mm。

可选的，所述透镜裂片单元还包括驱动结构，所述驱动结构用于驱动所述 凸起结构沿平行于所述工件载台的平面移动。

可选的，所述激光器出射的激光波长为9.2um～10.6um。

可选的，还包括聚焦镜，所述聚焦镜位于所述凸起结构靠近所述工件载台 一侧，用于改变所述凸起结构出射的椭圆形光束中长轴的大小。

可选的，所述凸形曲面包括圆柱体的部分侧面。

可选的，所述凸形曲面包括部分椭球面。

本发明实施例提供的激光裂片装置，通过在激光器的出光侧设置凸起结构， 凸起结构的凸形曲面位于所述凸起结构背离所述工件载台一侧，激光器出射的 光线经凸起结构后形成椭圆形光束避免激光直接入射至玻璃能量比较集中对玻 璃造成损伤，提高了生产的良品率。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种激光裂片装置的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的一种光路传播示意图；

图3为本发明实施例提供的一种激光裂片装置中的凸起结构的结构示意 图；