[发明专利]一种研磨平台的振动监测系统及振动监测方法

权利要求书

1.一种研磨平台的振动监测系统，其特征在于，用于监测研磨平台的皮带，所述研磨平台的振动监测系统包括：

分别设置于所述皮带的传送面两侧的第一监测模块和第二监测模块；其中，

所述第一监测模块用于发送监测信号，所述第二监测模块用于根据接收到的监测信号监测所述皮带的异常状态。

2.根据权利要求1所述的研磨平台的振动监测系统，其特征在于，所述第一监测模块的信号发送区域的长度大于所述皮带的宽度；

所述第二监测模块的信号接收区域的长度大于所述皮带的宽度。

3.根据权利要求2所述的研磨平台的振动监测系统，其特征在于，所述第一监测模块的信号发送区域在所述皮带上的正投影完全覆盖所述皮带；

所述第二监测模块的信号接收区域在所述皮带上的正投影完全覆盖所述皮带。

4.根据权利要求3所述的研磨平台的振动监测系统，其特征在于，所述第一监测模块发送的监测信号部分被所述皮带遮挡，剩余部分被所述第二监测模块接收。

5.根据权利要求4所述的研磨平台的振动监测系统，其特征在于，所述第二监测模块根据接收的所述监测信号在所述信号接收区域上的分布，确定所述皮带是否出现异常状态，所述异常状态包括位置异常和振动异常。

6.根据权利要求5所述的研磨平台的振动监测系统，其特征在于，还包括：控制模块；

所述第二监测模块还用于在确定所述皮带出现异常状态时，向所述控制模块发送第一停止指令；

所述控制模块，用于在接收到所述第一停止指令后，控制所述研磨平台停止工作。

7.根据权利要求6所述的研磨平台的振动监测系统，其特征在于，所述第一监测模块还用于接收所述皮带反射的所述监测信号，并根据所述皮带反射的所述监测信号判断所述皮带是否出现振动异常。

8.根据权利要求7所述的研磨平台的振动监测系统，其特征在于，所述第一监测模块还用于在判断所述皮带出现振动异常时，向所述控制模块发送第二停止指令；

所述控制模块，还用于在接收到所述第二停止指令后，控制所述研磨平台停止工作。

9.一种研磨平台的振动监测方法，其特征在于，用于监测掩膜平台的皮带，所述研磨平台的振动监测方法包括：

在所述皮带的传送面一侧，朝向所述皮带发送监测信号；

在所述皮带的传送面的另一侧，接收所述监测信号，并根据所述监测信号监测所述皮带的异常状态。