[发明专利]退镀液以及退镀方法

权利要求书

1.一种用于去除第一金属层和第二金属层复合的工件的表面镀层的退镀液，其中，所述第一金属层中包含铁元素，所述第二金属层中包含铝元素，所述退镀液包含：

第一保护剂，选自可溶性硼氢化物，以保护所述第一金属层；以及

第二保护剂，选自多聚磷酸盐，以保护所述第二金属层。

2.根据权利要求1所述的退镀液，还包括：

络合剂，选自柠檬酸盐、酒石酸及其盐、碳原子的数量小于10的脂肪酸及其盐、植酸及其盐、氨基多羧酸、甲基磺酸、氨基磺酸、可溶性次磷酸盐、亚磷酸盐、可溶性硅酸盐、可溶性偏硅酸盐、可溶性硫氰酸盐、有机膦酸盐、硼氢化物、碳酸盐和多聚磷酸盐中的至少一种，以与所述表面镀层中的元素络合。

3.根据权利要求1所述的退镀液，还包括：

氧化剂，选自间硝基苯磺酸钠、过硫酸盐、过硼酸盐、高氯酸盐以及高铁酸盐中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的退镀液，还包括：

促进剂，选自氢氧化锂、氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸盐、硅酸盐、磷酸盐以及间硝基苯磺酸钠中的至少一种。

5.根据权利要求1所述的退镀液，还包括：

辅助剂，选自聚乙二醇、多磷酸腺苷、有机膦酸盐以及可溶性硫氰酸盐中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的退镀液，还包括：

润湿剂，选自仲辛醇聚氧乙烯醚、2-乙基己醇硫酸盐以及石油磺酸盐中的至少一种。

7.一种用于去除第一金属层和第二金属层复合的工件的表面镀层的退镀液，其中，所述第一金属层中包含铁元素，所述第二金属层中包含铝元素，所述退镀液包含：

第一保护剂，包含羟基乙叉二膦酸和氨基三亚甲基膦酸的混合物，以保护所述第一金属层；

第二保护剂，包含质量分数为0.5％的苯并三氮唑，以保护所述第二金属层；

络合剂，包含质量分数为5％的氨基三乙酸；以及

润湿剂，包含质量分数为0.5％的石油磺酸锌；其中，

所述羟基乙叉二膦酸和所述氨基三亚甲基膦酸的质量比为3:1，所述羟基乙叉二膦酸和所述氨基三亚甲基膦酸的混合物的质量分数的范围为2％-18％。

8.一种用于去除第一金属层和第二金属层复合的工件的表面镀层的退镀液，其中，所述第一金属层中包含铁元素，所述第二金属层中包含铝元素，所述退镀液包含：

第一保护剂，包含质量分数为2％的异丙醇胺，以保护所述第一金属层；

第二保护剂，包含柠檬酸和苯并三氮唑的混合物，以保护所述第二金属层；

络合剂，包含质量分数为0.5％的羟基亚乙基二膦酸四钠；以及

促进剂，包含质量分数为0.5％的碳酸钠；其中，

所述柠檬酸和所述苯并三氮唑的质量比为5:1，所述柠檬酸和所述苯并三氮唑的混合物的质量分数的范围为2％-20％。

9.一种用于去除第一金属层和第二金属层复合的工件的表面镀层的退镀液，其中，所述第一金属层中包含铁元素，所述第二金属层中包含铝元素，所述退镀液包含：

第一保护剂，包含质量分数为5％的氨基三乙酸，以保护所述第一金属层；

第二保护剂，包含质量分数为0.5％的苯并三氮唑，以保护所述第二金属层；以及

络合剂，包含质量分数为3％碳酸钠。

10.一种用于去除第一金属层和第二金属层复合的工件的表面镀层的退镀液，其中，所述第一金属层中包含铁元素，所述第二金属层中包含铝元素，所述退镀液包含：

质量分数为2％的三乙醇胺作为第一保护剂和络合剂，以保护所述第一金属层且退镀所述镀层；以及

质量分数为0.5％的石油磺酸锌作为第二保护剂和润湿剂，以保护所述第二金属层且润湿所述镀层。