[发明专利]一种多级精密配合的轴向步进机构的装配方法

权利要求书

1.一种多级精密配合的轴向步进机构的装配方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、步进连杆上设有凸出的螺杆，阀芯上设有螺纹孔，将阀芯与步进连杆通过螺纹连接，阀芯的端面与步进连杆的端面之间留有间隙；

S2、将装配好的阀芯与步进连杆作为一个整体，插入在导程支座内，然后将导程支座置于在导程端盖上；

S3、利用塞规单片测量导程支座与导程端盖之间的间隙，采用垫片进行补偿，最后将导程支座与导程端盖连接；

S4、将丝杆螺母与步进连杆连接，将丝杆穿过丝杆螺母；在伺服电机输出轴的端面上安装调整螺丝，在联轴器内安装推力杆；利用联轴器连接伺服电机和丝杆；将伺服电机安装在电机固定支座上，将电机固定支座安装在导程端盖上；

S5、调整调整螺丝的伸出长度，使调整螺丝与推力杆之间、推力杆与丝杆端面之间均始终保持紧密贴合。

2.根据权利要求1所述的一种多级精密配合的轴向步进机构的装配方法，其特征在于，导程端盖上设有螺纹孔，S3中导程支座通过多个螺栓与导程端盖连接，采用垫片对导程端盖上螺纹孔处的间隙进行补偿。

3.根据权利要求1所述的一种多级精密配合的轴向步进机构的装配方法，其特征在于，S1中，阀芯的端面与步进连杆的端面之间留有0.2～0.5mm间隙。

4.根据权利要求1所述的一种多级精密配合的轴向步进机构的装配方法，其特征在于，S2中，将装配好的阀芯与步进连杆作为一个整体，插入在导程支座内，步进连杆与导程支座为间隙配合，间隙值为0μm～20μm。

5.根据权利要求1所述的一种多级精密配合的轴向步进机构的装配方法，其特征在于，导程端盖内靠近步进连杆导程支座固定的一端设有排气孔，用于使导程端盖的内部与外部连通。

6.根据权利要求1～5之一所述的一种多级精密配合的轴向步进机构的装配方法，其特征在于，S2中首先将拉杆封、气动防尘拉杆封装入导程端盖内，然后将导程支座置于在导程端盖上，阀芯穿过拉杆封和气动防尘拉杆封。

7.一种高精度气体质量流量控制阀的装配方法，其特征在于，采用权利要求6所述的装配方法，完成轴向步进机构的装配，还包括如下步骤：

S11、将阀芯支座装入阀体内，然后将导程端盖安装在阀体上；

S12、将出气口法兰和进气口法兰均安装在阀体上；

S13、将压力传感器与进气口法兰连接，将质量流量计与压力传感器连接。

8.一种高精度气体质量流量控制阀，其特征在于，采用权利要求7的装配方法进行装配，包括质量流量计、压力传感器、进气口法兰、阀体流量控制结构、阀芯传动机构、出气口法兰；

进气口法兰的两端分别与压力传感器和阀体流量控制结构连接，阀芯传动机构和出气口法兰均安装在阀体流量控制结构上；外部气体依次经质量流量计、压力传感器、进气口法兰进入阀体流量控制结构，然后从出气口法兰流出控制阀；

阀体流量控制结构包括阀体、阀芯支座、导程端盖；阀芯、阀芯支座、导程端盖均安装在阀体内；阀芯传动机构包括伺服电机、电机固定支座、联轴器、丝杆、丝杆螺母、步进连杆、步进连杆导程支座、阀芯；

阀芯穿过导程端盖后插入阀芯支座，用于完成流量控制；

伺服电机安装在电机固定支座上，步进连杆安装在步进连杆导程支座上，步进连杆导程支座安装在导程端盖上，导程端盖和电机固定支座均安装在阀体上；伺服电机通过联轴器与丝杆连接，丝杆穿过丝杆螺母，丝杆螺母与步进连杆连接，步进连杆与阀芯连接。

9.根据权利要求8所述的一种高精度气体质量流量控制阀，其特征在于，进出气口法兰与阀体之间采用O形圈密封，阀体表面粗糙度不大于1.6μm，O型圈压缩量为自身直径的10％～15％。

10.根据权利要求8所述的一种高精度气体质量流量控制阀，其特征在于，阀芯与阀芯支座通过锥面配合完成紧密贴合，锥面的粗糙度不大于0.8μm；阀芯支座采用聚酯纤维材料制成。