[发明专利]半导体存储装置在审

专利信息
申请号: 202010733931.8 申请日: 2020-07-24
公开(公告)号: CN112670298A 公开(公告)日: 2021-04-16
发明(设计)人: 前嶋洋;矶部克明;冈田信彬;中村宽;鹤户孝博 申请(专利权)人: 铠侠股份有限公司
主分类号: H01L27/1157 分类号: H01L27/1157;H01L27/11573;H01L27/11582;H01L27/11575
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 张世俊
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 半导体 存储 装置
【权利要求书】:

1.一种半导体存储装置,具备:

衬底;

第1存储胞,设置在所述衬底的上方;

第1位线,在第1方向上延伸设置,与所述第1存储胞连接;

第1字线,在与所述第1方向交叉的第2方向上延伸设置,与所述第1存储胞连接;

第1晶体管,设置在所述衬底之上,与所述第1位线连接;及

第2晶体管,设置在所述第1存储胞的下方且所述衬底之上,与所述第1字线连接。

2.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其还具备:

第2存储胞,与所述第1字线连接;

第2位线,在所述第1方向上延伸设置,与所述第2存储胞连接;

第3晶体管,设置在所述衬底之上,与所述第1晶体管相比在所述第2方向上更远离所述第2晶体管地配置,与所述第2位线连接;

第1配线,连接在所述第1晶体管与所述第1位线之间,具有在所述第2方向上延伸的部分;及

第2配线,连接在所述第3晶体管与所述第2位线之间,具有在所述第2方向上延伸的部分;且

所述第1配线在所述第2方向上延伸的部分的长度比所述第2配线在所述第2方向上延伸的部分的长度长。

3.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其还具备:

第3存储胞,与所述第1位线连接;

第2字线,在所述第2方向上延伸设置,与所述第3存储胞连接;

第4晶体管,设置在所述衬底之上,与所述第2晶体管相比在所述第2方向上更远离所述第1晶体管地配置,与所述第2字线连接;

第3配线,连接在所述第2晶体管与所述第1字线之间,具有在所述第2方向上延伸的部分;及

第4配线,连接在所述第4晶体管与所述第2字线之间,具有在所述第2方向上延伸的部分;且

所述第3配线在所述第2方向上延伸的部分的长度比所述第4配线在所述第2方向上延伸的部分的长度长。

4.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其还具备感测放大器,

所述感测放大器包含所述第1晶体管,

所述第1晶体管为N型的高耐压晶体管。

5.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其还具备行解码器,

所述行解码器包含所述第2晶体管,

所述第2晶体管为N型的高耐压晶体管。

6.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其还具备:

多个导电体层,在与所述第1方向及所述第2方向交叉的第3方向上相互分离地设置,分别被用作字线;以及

柱,贯通所述多个导电体层而设置,包含作为所述第1存储胞发挥功能的部分。

7.根据权利要求2所述的半导体存储装置,其中

在包含所述第1存储胞及所述第2存储胞的区域外侧的区域中,还具备与所述第1字线接触的第1接触件,所述第1字线与所述第2晶体管之间经由所述第1接触件连接。

8.根据权利要求2所述的半导体存储装置,其中

在所述第1存储胞与所述第2存储胞之间的区域中,还具备与所述第1字线接触的第1接触件,所述第1字线与所述第2晶体管之间经由所述第1接触件连接。

9.根据权利要求7或8所述的半导体存储装置,其中

所述衬底与所述第1位线之间的与所述第1方向及所述第2方向交叉的第3方向上的间隔比所述衬底与所述第1字线之间的所述第3方向上的间隔窄,

所述第1接触件从所述衬底侧与所述第1字线接触。

10.根据权利要求7或8所述的半导体存储装置,其中

所述衬底与所述第1位线之间的与所述第1方向及所述第2方向交叉的第3方向上的间隔比所述衬底与所述第1字线之间的所述第3方向上的间隔宽,

所述第1接触件经由比所述第1字线更远离所述衬底的区域与所述第1字线接触。

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