[发明专利]半导体存储装置在审
申请号: | 202010733931.8 | 申请日: | 2020-07-24 |
公开(公告)号: | CN112670298A | 公开(公告)日: | 2021-04-16 |
发明(设计)人: | 前嶋洋;矶部克明;冈田信彬;中村宽;鹤户孝博 | 申请(专利权)人: | 铠侠股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/1157 | 分类号: | H01L27/1157;H01L27/11573;H01L27/11582;H01L27/11575 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 张世俊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 存储 装置 | ||
1.一种半导体存储装置,具备:
衬底;
第1存储胞,设置在所述衬底的上方;
第1位线,在第1方向上延伸设置,与所述第1存储胞连接;
第1字线,在与所述第1方向交叉的第2方向上延伸设置,与所述第1存储胞连接;
第1晶体管,设置在所述衬底之上,与所述第1位线连接;及
第2晶体管,设置在所述第1存储胞的下方且所述衬底之上,与所述第1字线连接。
2.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其还具备:
第2存储胞,与所述第1字线连接;
第2位线,在所述第1方向上延伸设置,与所述第2存储胞连接;
第3晶体管,设置在所述衬底之上,与所述第1晶体管相比在所述第2方向上更远离所述第2晶体管地配置,与所述第2位线连接;
第1配线,连接在所述第1晶体管与所述第1位线之间,具有在所述第2方向上延伸的部分;及
第2配线,连接在所述第3晶体管与所述第2位线之间,具有在所述第2方向上延伸的部分;且
所述第1配线在所述第2方向上延伸的部分的长度比所述第2配线在所述第2方向上延伸的部分的长度长。
3.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其还具备:
第3存储胞,与所述第1位线连接;
第2字线,在所述第2方向上延伸设置,与所述第3存储胞连接;
第4晶体管,设置在所述衬底之上,与所述第2晶体管相比在所述第2方向上更远离所述第1晶体管地配置,与所述第2字线连接;
第3配线,连接在所述第2晶体管与所述第1字线之间,具有在所述第2方向上延伸的部分;及
第4配线,连接在所述第4晶体管与所述第2字线之间,具有在所述第2方向上延伸的部分;且
所述第3配线在所述第2方向上延伸的部分的长度比所述第4配线在所述第2方向上延伸的部分的长度长。
4.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其还具备感测放大器,
所述感测放大器包含所述第1晶体管,
所述第1晶体管为N型的高耐压晶体管。
5.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其还具备行解码器,
所述行解码器包含所述第2晶体管,
所述第2晶体管为N型的高耐压晶体管。
6.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其还具备:
多个导电体层,在与所述第1方向及所述第2方向交叉的第3方向上相互分离地设置,分别被用作字线;以及
柱,贯通所述多个导电体层而设置,包含作为所述第1存储胞发挥功能的部分。
7.根据权利要求2所述的半导体存储装置,其中
在包含所述第1存储胞及所述第2存储胞的区域外侧的区域中,还具备与所述第1字线接触的第1接触件,所述第1字线与所述第2晶体管之间经由所述第1接触件连接。
8.根据权利要求2所述的半导体存储装置,其中
在所述第1存储胞与所述第2存储胞之间的区域中,还具备与所述第1字线接触的第1接触件,所述第1字线与所述第2晶体管之间经由所述第1接触件连接。
9.根据权利要求7或8所述的半导体存储装置,其中
所述衬底与所述第1位线之间的与所述第1方向及所述第2方向交叉的第3方向上的间隔比所述衬底与所述第1字线之间的所述第3方向上的间隔窄,
所述第1接触件从所述衬底侧与所述第1字线接触。
10.根据权利要求7或8所述的半导体存储装置,其中
所述衬底与所述第1位线之间的与所述第1方向及所述第2方向交叉的第3方向上的间隔比所述衬底与所述第1字线之间的所述第3方向上的间隔宽,
所述第1接触件经由比所述第1字线更远离所述衬底的区域与所述第1字线接触。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的