[发明专利]狭缝喷嘴及包括狭缝喷嘴的药液涂覆装置

权利要求书

1.一种狭缝喷嘴，其特征在于，包括：

本体部分，其具有用于药液流动的流路；

吐出部分，其用于向所述基板上吐出通过所述本体部分的流路流动的所述药液；以及

间隙调整部分，其用于调整所述吐出部分的间隙，

其中，所述间隙调整部分，包括：

螺纹槽部分，其具有从所述本体部分的一侧向所述本体部分的内部延长的第一螺纹槽部分及从所述本体部分的内部向所述吐出部分延长的第二螺纹槽部分；

裂缝部分，其位于所述第一螺纹槽部分及所述第二螺纹槽部分之间；

调节螺母，其具有结合于所述第一螺纹槽部分的第一螺纹部分及第二螺纹部分；以及

固定螺栓，其具有结合于所述第二螺纹槽部分的第一连结部分、连接部分及结合于所述第二螺纹部分的第二连结部分，

所述调节螺母的所述第二螺纹部分具有比所述第一螺纹部分的螺距小的螺距。

2.根据权利要求1所述的狭缝喷嘴，其特征在于：

所述本体部分对应于所述基板的宽度方向的长度。

3.根据权利要求1所述的狭缝喷嘴，其特征在于：

所述螺纹槽部分的所述第一螺纹槽部分及所述第二螺纹槽部分互相连通。

4.根据权利要求3所述的狭缝喷嘴，其特征在于：

所述螺纹槽部分的所述第二螺纹槽部分具有比所述螺纹槽部分的所述第一螺纹槽部分的直径小的直径。

5.根据权利要求3所述的狭缝喷嘴，其特征在于：

所述裂缝部分延长成与所述螺纹槽部分的所述第一螺纹槽部分及所述螺纹槽部分的所述第二螺纹槽部分垂直。

6.根据权利要求1所述的狭缝喷嘴，其特征在于：

所述固定螺栓的所述连接部分接触于所述螺纹槽部分的所述第二螺纹槽部分的入口。

7.根据权利要求1所述的狭缝喷嘴，其特征在于：

所述间隙调整部分向所述本体部分的长度方向配置。

8.根据权利要求1所述的狭缝喷嘴，其特征在于：

所述固定螺栓的所述连接部分调整所述吐出部分的间隙。

9.根据权利要求8所述的狭缝喷嘴，其特征在于：

所述固定螺栓的所述连接部分具有比所述裂缝部分的宽度方向的长度短的长度。

10.根据权利要求1所述的狭缝喷嘴，其特征在于：

所述间隙调整部分利用所述调节螺母的所述第一螺纹部分的螺距及所述调节螺母的所述第二螺纹部分的螺距之间的螺距差调整所述吐出部分的间隙。

11.根据权利要求10所述的狭缝喷嘴，其特征在于：

随着所述固定螺栓向前方移动及后方移动控制所述吐出部分的间隙。

12.一种狭缝喷嘴，其特征在于，包括：

本体部分，其对应于基板的宽度方向的长度，具有用于药液流动的流路；

吐出部分，其用于向所述基板上吐出通过所述本体部分的流路流动的所述药液；以及

多个间隙调整部分，其用于调整所述吐出部分的间隙，

其中，各个所述间隙调整部分包括：

螺纹槽部分，其具有从所述本体部分的一侧向所述本体部分的内侧延长的第一螺纹槽部分及从所述本体部分的内部向所述吐出部分延长，并与所述第一螺纹槽部分连通的第二螺纹槽部分；

裂缝部分，其位于所述第一螺纹槽部分及所述第二螺纹槽部分之间，延长成与所述第一螺纹槽部分及所述第二螺纹槽部分垂直；

调节螺母，其具有结合于所述第一螺纹槽部分且具有第一螺距的第一螺纹部分及具有比所述第一螺距小的第二螺距的第二螺纹部分；以及

固定螺栓，其具有结合于所述第二螺纹槽部分的第一连结部分、接触于所述第二螺纹槽部分的入口的连接部分及结合于所述第二螺纹部分的第二连结部分。