[发明专利]狭缝喷嘴及包括狭缝喷嘴的药液涂覆装置

说明书

本发明公开一种狭缝喷嘴及包括狭缝喷嘴的药液涂覆装置。药液供应装置可以包括狭缝喷嘴。所述狭缝喷嘴可包括具有用于药液流动的流路的本体部分、用于向所述基板上吐出通过所述本体部分的流路流动的所述药液的吐出部分以及用于调整所述吐出部分的间隙的间隙调整部分。所述间隙调整部分可以包括具有从所述本体部分的一侧向所述本体部分的内部延长的第一螺纹槽部分及从所述本体部分的内部向所述吐出部分延长的第二螺纹槽部分的螺纹槽部分、位于所述第一螺纹槽部分及所述第二螺纹槽部分之间的裂缝部分、具有结合于所述第一螺纹槽部分的第一螺纹部分及第二螺纹部分的调节螺母以及具有第一连结部分、连接部分及第二连结部分的固定螺栓。

本申请享有2019年7月30日向韩国特许厅申请的韩国专利申请第10-2019-0092389号的优先权。

技术领域

本发明的例示性实施例涉及狭缝喷嘴及包括狭缝喷嘴的药液涂覆装置。更具体来讲，本发明的例示性实施例涉及能够向基板上均匀地吐出药液的狭缝喷嘴及包括这种狭缝喷嘴的药液涂覆装置。

背景技术

制造有机发光显示装置之类的显示装置时，可以执行在基板上形成所需图案的工艺。大体上可通过照片蚀刻工艺将这种所需图案形成于所述基板上。在所述照片蚀刻工艺中，向所述基板上吐出光刻胶或显影液之类的药液。

能够利用狭缝喷嘴向所述基板上吐出所述药液。所述光刻胶或显影液之类的药液未均匀提供至整个所述基板上的情况下，在所述基板上不能形成所需图案，因此能够引起所述显示装置的不良。因此，向所述基板上吐出所述药液的过程中需要保持所述狭缝喷嘴的吐出部分的一定的间隙。为此，韩国公开专利第2006-0133783号中公开了用于调整狭缝喷嘴的间隙的技术。

发明内容

技术问题

本发明的一个目的是提供一种能够通过保持吐出部分的一定间隙以在整个基板上均匀吐出药液的狭缝喷嘴。

本发明的另一目的是提供一种包括这种狭缝喷嘴的药液涂覆装置。

技术方案

根据本发明的一个方面提供一种狭缝喷嘴。所述狭缝喷嘴可以包括具有用于药液流动的流路的本体部分、用于向所述基板上吐出通过所述本体部分的流路流动的所述药液的吐出部分及用于调整所述吐出部分的间隙的间隙调整部分。所述间隙调整部分可以包括具有从所述本体部分的一侧向所述本体部分的内部延长的第一螺纹槽部分及从所述本体部分的内部向所述吐出部分延长的第二螺纹槽部分的螺纹槽部分、位于所述第一螺纹槽部分及所述第二螺纹槽部分之间的裂缝部分、具有结合于所述第一螺纹槽部分的第一螺纹部分及第二螺纹部分的调节螺母以及具有结合于所述第二螺纹槽部分的第一连结部分、连接部分及结合于所述第二螺纹部分的第二连结部分的固定螺栓。

在例示性实施例中，所述本体部分可以实质上对应于所述基板宽度方向的长度。

在例示性实施例中，所述螺纹槽部分的所述第一螺纹槽部分及所述第二螺纹槽部分可以互相连通。该情况下，所述螺纹槽部分的所述第二螺纹槽部分的直径可以实质上小于所述螺纹槽部分的所述第一螺纹槽部分的直径。

在例示性实施例中，所述裂缝部分可以延长成与所述螺纹槽部分的所述第一螺纹槽部分及所述螺纹槽部分的所述第二螺纹槽部分实质上垂直。

在例示性实施例中，所述调节螺母的所述第二螺纹部分可具有比所述第一螺纹部分的螺距实质上小的螺距。

在例示性实施例中，所述固定螺栓的所述连接部分能够接触于所述螺纹槽部分的所述第二螺纹槽部分的入口。

在部分例示性实施例中，所述间隙调整部分可以向所述本体部分的长度方向配置。

在例示性实施例中，所述固定螺栓的所述连接部分能够调整所述吐出部分的间隙。该情况下，所述固定螺栓的所述连接部分可具有比所述裂缝部分的宽度方向的长度实质上短的长度。