[发明专利]适于化学汽相沉积装置扩散器的吹扫设备

权利要求书

1.适于化学汽相沉积装置扩散器的吹扫设备，其特征在于，包括相对布置的两个吹扫机器人，吹扫机器人包括用于对扩散器进行吹扫的喷嘴和用于控制喷嘴进行移动的位置调节装置。

2.根据权利要求1所述的适于化学汽相沉积装置扩散器的吹扫设备，其特征在于，所述位置调节装置包括用于带动所述喷嘴沿Z轴方向进行移动的Z轴执行机构、与Z轴执行机构连接且用于带动Z轴执行机构沿Y轴方向进行移动的Y轴执行机构和与Y轴执行机构连接且用于带动Y轴执行机构沿X轴方向进行移动的X轴执行机构，喷嘴设置于Z轴执行机构上，X轴方向、Y轴方向和Z轴方向相互垂直。

3.根据权利要求2所述的适于化学汽相沉积装置扩散器的吹扫设备，其特征在于，所述X轴执行机构包括X轴执行器、X轴滑轨、与所述Y轴执行机构连接且设置于X轴滑轨上的X轴齿条和与X轴执行器连接且与X轴齿条相啮合的X轴齿轮，X轴齿条的长度方向与X轴方向相平行。

4.根据权利要求3所述的适于化学汽相沉积装置扩散器的吹扫设备，其特征在于，所述Y轴执行机构包括与所述X轴齿条连接的Y轴滑轨、Y轴执行器、与所述Z轴执行机构连接且设置于Y轴滑轨上的Y轴齿条和与Y轴执行器连接且与Y轴齿条相啮合的Y轴齿轮，Y轴齿条的长度方向与Y轴方向相平行。

5.根据权利要求4所述的适于化学汽相沉积装置扩散器的吹扫设备，其特征在于，所述Y轴方向为竖直方向，所述Y轴执行器为伺服电机且Y轴执行器具有自锁功能。

6.根据权利要求4或5所述的适于化学汽相沉积装置扩散器的吹扫设备，其特征在于，所述位置调节装置还包括X轴负限位块、X轴正限位块和X轴零位感应开关，X轴负限位块、X轴正限位块和X轴零位感应开关处于与X轴方向相平行的同一直线上，所述Y轴滑轨位于X轴负限位块和X轴零位感应开关之间。

7.根据权利要求4至6任一所述的适于化学汽相沉积装置扩散器的吹扫设备，其特征在于，所述位置调节装置Y轴负限位块、Y轴正限位块和Y轴零位感应开关，Y轴负限位块、Y轴正限位块和Y轴零位感应开关处于与Y轴方向相平行的同一直线上，所述X轴滑轨位于Y轴负限位块和Y轴零位感应开关之间。

8.根据权利要求4至7任一所述的适于化学汽相沉积装置扩散器的吹扫设备，其特征在于，所述Z轴执行机构包括与所述喷嘴连接的Z轴执行器，Z轴执行器为气缸，Z轴执行器设置于所述Y轴齿条上。

9.根据权利要求1至8任一所述的适于化学汽相沉积装置扩散器的吹扫设备，其特征在于，所述扩散器放置在挂具上，挂具位于所述两个吹扫机器人之间，所述吹扫机器人还包括用于对挂具施加压力的压紧机构，挂具由两个吹扫机器人的压紧机构夹紧，使扩散器处于竖直状态。

10.根据权利要求9所述的适于化学汽相沉积装置扩散器的吹扫设备，其特征在于，所述压紧机构包括夹紧座、设置于夹紧座上且用于与所述挂具接触的夹紧杆和与夹紧座连接且用于控制夹紧座沿Z轴方向进行移动的对夹气缸。