[发明专利]一种自动上片机

权利要求书

1.一种自动上片机，包括机架，其特征在于：所述机架的一端设有一晶圆料架，所述晶圆料架上设有若干花篮放置位，且所述晶圆料架上设有第一晶圆定位机构；

所述机架中间设有一上片机械臂，所述机架上靠近所述上片机械臂位置还设有一定位台，所述定位台位于所述上片机械臂和所述晶圆料架之间、且与所述晶圆料架对应设置，所述定位台上设有若干第二晶圆定位机构；

所述定位台与所述晶圆料架间设有用以取放并翻转晶圆的翻片机构，所述机架上于所述定位台和所述上片机械臂之间开设有一摄片孔，所述机架上安装有与所述摄片孔对应设置的拍摄机构；

所述上片机械臂的两侧沿水平方向均滑动安装有第一驱动装置驱动的定位托板，所述定位托板的上表面设有若干用以实现上片载具定位放置的定位轴，所述机架的另一端设有分别与所述定位托板对应设置的载具料筐，所述定位托板靠近所述载具料筐的一端底部固定安装有用以取放上片载具的插杆；

所述机架上沿所述定位托板的滑动方向还依次设有载具抬升机构、料盘取盖机构、自动上螺丝机构和螺丝供料器，所述载具抬升机构靠近所述载具料筐设置，所述料盘取盖机构和所述自动上螺丝机构均位于所述定位托板的上方，且所述料盘取盖机构与所述载具抬升机构对应设置，所述螺丝供料器位于所述定位托板一侧，且与所述自动上螺丝机构对应设置。

2.如权利要求1所述的自动上片机，其特征在于：所述晶圆料架固定安装于所述机架上，且所述晶圆料架上设有若干花篮安装板，所述花篮安装板上螺纹安装有若干水平调节螺栓，所述水平调节螺栓的螺纹端抵靠所述晶圆料架设置，且所述花篮安装板利用安装螺栓固定安装于所述晶圆料架上；

所述花篮安装板上设有用以实现花篮定位放置的定位板，所述定位板分别于所述花篮安装板的两端对应设置，对应设置的两所述定位板间形成所述花篮放置位，且所述定位板上均开设有条形孔，所述定位板通过所述条形孔且利用定位螺栓固定安装于所述花篮安装板上；

所述花篮安装板上还开设有第一安装槽，所述第一安装槽内设有用以检测花篮的第一传感器。

3.如权利要求2所述的自动上片机，其特征在于：所述第一晶圆定位机构位于所述晶圆料架的中间位置，所述第一晶圆定位机构包括固定安装于所述晶圆料架上的第一安装座，所述第一安装座上安装有第一夹爪气缸，所述第一夹爪气缸的卡爪固定安装有第一定位块，且处于定位状态时，所述第一定位块间形成与晶圆相适配的定位区；

若干所述第二晶圆定位机构于所述定位台上均匀排列设置，所述第二晶圆定位机构包括固定安装于所述定位台上的第二夹爪气缸，所述第二夹爪气缸的卡爪固定安装有第二定位块，所述第二定位块上具有定位沿，且所述定位沿与晶圆外径相适配。

4.如权利要求3所述的自动上片机，其特征在于：所述翻片机构包括由第二驱动装置驱动、且沿X轴方向滑动的第一安装板，所述第一安装板上沿Y轴方向滑动安装有第三驱动装置驱动的第二安装板，所述第二安装板上沿Z轴方向滑动安装有第四驱动装置驱动的第三安装板，所述第三安装板上固定安装有旋转气缸，所述旋转气缸的转盘固定安装有取片板，所述取片板的端部一侧开设有吸片孔以及与所述吸片孔相接的吸片槽，所述吸片孔位于所述吸片槽的中间位置，且所述取片板内部开设有与所述吸片孔相连通的气道；

所述第三安装板上还固定安装有用以检测花篮中晶圆料况的第二传感器，所述第二传感器朝向所述晶圆料架设置。

5.如权利要求4所述的自动上片机，其特征在于：所述上片机械臂的末端设有晶圆取放机构，所述晶圆取放机构包括固定安装于所述上片机械臂转杆底端的固定座，所述固定座的一侧固定安装有第三传感器，所述固定座的另一侧固定安装有侧板，所述侧板上沿竖直方向滑动安装有第一吸盘安装板，所述第一吸盘安装板的底部固定安装有伯努利吸盘，且所述第一吸盘安装板与所述固定座间设有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的两端分别与所述第一吸盘安装板、所述固定座相连。