[发明专利]具有双重输出的高频发生器及其驱动方法

权利要求书

1.一种具有双重输出的高频发生器，包括：

高频放大部，放大预定电平的直流电压，以输出第一及第二高频放大信号；

合路器，耦合所述第一高频放大信号和所述第二高频放大信号，以输出高频功率信号；

高频传感器，配置在所述合路器的输出侧，并且检测流动于所述合路器的输出侧的电信号，以输出电检测信号；

控制器，利用在外部施加的控制信号和所述电检测信号输出切换控制信号；及

切换部，配置在所述合路器和等离子腔室之间，并且被所述切换控制信号控制，进而将所述高频功率信号提供于第一输出端子和第二输出端子。

2.根据权利要求1所述的具有双重输出的高频发生器，其特征在于，

所述切换部由机械性开关或者电子开关实现，通过所述第一输出端子输出的第一高频功率输出信号供应于所述等离子腔室的上侧电极，通过所述第二输出端子输出的第二高频功率输出信号供应于所述等离子腔室的下侧电极。

3.根据权利要求2所述的具有双重输出的高频发生器，其特征在于，

所述第一及第二高频功率输出信号周期性或者非周期性输出。

4.根据权利要求1所述的具有双重输出的高频发生器，其特征在于，还包括：

双重输出监控部，检测所述第一及第二高频功率输出信号，以监控所述切换部的动作状态。

5.根据权利要求4所述的具有双重输出的高频发生器，其特征在于，

所述双重输出监控部包括：

第一及第二高频功率检测器，分别从所述第一及第二高频功率输出信号检测第一及第二高频功率；

第一及第二阻抗匹配器，分别匹配所述第一及第二高频功率检测器和后端的第一及第二比较器之间的阻抗；

逆向信号屏蔽部，包括第一及第二单向元件，所述第一及第二单向元件使分别从所述第一及第二高频功率检测器输出的第一及第二高频功率单向通过后端的第一及第二比较器侧；

噪声干扰消除部，包括第三及第四单向元件，所述第三及第四单向元件分别正向结合到从所述第一及第二单向元件提供基准电压的基准电压端子侧；

比较部，包括第一比较器和第二比较器，所述第一比较器比较所述第一单向元件的输出电压和所述基准电压，所述第二比较器比较所述第二单向元件的输出电压和所述基准电压。

6.根据权利要求5所述的具有双重输出的高频发生器，其特征在于，

所述第一及第二高频功率检测器包括：第一微带变压器，连接于所述切换部的第一输出端子；第二微带变压器，连接于所述切换部的第二输出端子。

7.根据权利要求6所述的具有双重输出的高频发生器，其特征在于，

第一至第四单向元件为二极管。

8.一种具有双重输出的高频发生器的驱动方法，包括：

高频放大步骤，高频放大部放大预定电平的直流电压，以输出第一及第二高频放大信号；

放大信号耦合步骤，合路器耦合所述第一高频放大信号和所述第二高频放大信号，以输出高频功率信号；

电信号检测步骤，检测流动于所述合路器输出侧的电信号，以输出电检测信号；

切换控制信号输出步骤，控制器利用在外部施加的控制信号和所述电检测信号输出切换控制信号；及

切换步骤，切换部被所述切换控制信号控制，将所述高频功率信号提供于第一输出端子和第二输出端子。

9.根据权利要求8所述的具有双重输出的高频发生器的驱动方法，其特征在于，

所述切换部由机械性开关或者电子开关实现，通过所述第一输出端子输出的第一高频功率输出信号供应于所述等离子腔室的上侧电极，通过所述第二输出端子输出的第二高频功率输出信号供应于所述等离子腔室的下侧电极。

10.根据权利要求9所述的具有双重输出的高频发生器的驱动方法，其特征在于，

所述第一及第二高频功率输出信号周期性或者非周期性输出。