[发明专利]一种二元钼合金溅射靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种二元钼合金溅射靶材的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤一：按质量份数计算，取钼粉60~90份、铌粉5~20份、钛粉5~20份，在保护气体的气氛下进行球磨混料，充分混合均匀；

步骤二：将步骤一混合均匀后的物料进行胶套装粉，然后进行冷等静压成型，得到坯体；

步骤三：将步骤二得到的坯体包套，进行热等静压作业，得到烧结坯，自然冷却后，将得到的烧结坯取出；

步骤四：将步骤三得到的烧结坯在保护气体的气氛下加热，然后进行热轧、校平，最后进行退火，得到二元钼合金板坯；

步骤五：将步骤四得到的板坯根据所需进行机加工，得到最终所需产品；

其中，步骤二中所冷等静压压力为100~300MPa，保压时间为3~10min；

步骤三中的热等静压作业的条件为：压强为100~200MPa、温度为1000~1600℃，保持时间为3~10h；

步骤四中热轧前加热温度为1100~1500℃，分3~5道次轧制，每道次轧制变形量不低于20%；

步骤四中退火温度为1000~1400℃，退火保温时间为0.5~2h，之后自然冷却。

2.根据权利要求1所述的一种二元钼合金溅射靶材的制备方法，其特征在于：钼粉、铌粉、钛粉的纯度均不低于99.9%。

3.根据权利要求1所述的一种二元钼合金溅射靶材的制备方法，其特征在于：步骤一中球磨混料的工艺为：将钼粉60~90份、铌粉5~20份、钛粉5~20份置于V型混料机中，按照球料比为1:1~1.5，混料时间为12~48h进行混料。