[发明专利]石墨烯薄膜、多孔二氧化硅粉末和透明导电层的制作方法

权利要求书

1.一种石墨烯薄膜的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供一多孔材料粉末；

在原子层沉积装置中放入多孔材料粉末；

在原子层沉积装置中沉积金属催化层，使金属催化层沉积在所述多孔材料粉末的孔内，形成孔内有金属催化层的多孔材料粉末；

使用孔内有金属催化层的多孔材料粉末，形成孔内有金属催化层的多孔材料模板；以及

在多孔材料模板上制备得到石墨烯薄膜；

所述在原子层沉积装置中沉积金属催化层，使金属催化层沉积在所述多孔材料粉末的孔内，形成孔内有金属催化层的多孔材料粉末的步骤包括：

在原子层沉积装置中持续通入预设时间的铜前驱体或镍前驱体，停留预设时间，持续通入预设时间的惰性气体吹扫；

在原子层沉积装置中持续通入预设时间的还原气体，停留预设时间，持续通入预设时间的惰性气体吹扫；以及

重复执行上述两个步骤直至达到预设重复次数，形成所述铜催化层或镍催化层；

其中，所述铜催化层或镍催化层的厚度为10-30nm。

2.如权利要求1所述的一种石墨烯薄膜的制作方法，其特征在于，所述提供一多孔材料粉末的步骤中：

按比例添加水和有机溶剂的混合液；

添加硅前驱体源和表面活性剂；

添加催化剂；

在20-50℃下，400-800rpm(转每分)快速分散4-10小时；离心分离得到分级多孔二氧化硅

其中，所述多孔材料粉末为分级多孔二氧化硅粉末；所述水和有机溶剂的比例范围为0.3-0.5，有机溶剂为乙醇、异丙醇或丁醇，硅前驱体源为正硅酸乙酯(TEOS，Si(OC2H5)4)，表面活性剂为CTAB(Hexadecyl trimethyl ammonium Bromide，十六烷基三甲基溴化铵)或CTAC(Hexadecyl trimethyl ammonium Chloride，十六烷基三甲基氯化铵)；催化剂为氨水。

3.如权利要求1所述的一种石墨烯薄膜的制作方法，其特征在于，所述铜前驱体或镍前驱体的持续通入预设时间为0.01s-0.2s，停留预设时间为2s-20s；所述还原性气体的持续通入预设时间为0.01s-0.5s，停留预设时间为2s-20s；所述预设重复次数为50次至200次。

4.如权利要求3所述的一种石墨烯薄膜的制作方法，其特征在于，所述铜前驱体包括：N,N-二异丙基乙酸铜、1,5-环辛二烯铜、六氟-2,4-戊二酮铜、乙酰丙酮铜中的至少一种；

所述原子层沉积装置的压强设置为0.05-10torr，温度150-300℃。

5.如权利要求4所述的一种石墨烯薄膜的制作方法，其特征在于，所述在在多孔材料模板上制备石墨烯薄膜的步骤包括以下步骤：

将多孔材料模板放入化学气相淀积腔室内，通入氩气(Ar)和氢气(H2)混合气体，加热至预设温度；

通入碳源前驱体，生长预设时间后冷却降温，形成带有多孔材料模板的石墨烯薄膜；以及

将带有多孔材料模板的石墨烯薄膜浸入到剥离液中形成石墨烯薄膜。

6.如权利要求5所述的一种石墨烯薄膜的制作方法，其特征在于，所述预设温度800-1200℃，所述碳源前驱体通入速率可选为10-30标况毫升每分，碳源前驱体包括：CH4、C2H2或C2H6，生长预设时间设置为1-5分钟；所述剥离液为FeCl3溶液和氢氧化钠溶液、或FeCl3溶液和氢氟酸溶液的混合液。

7.一种显示面板的透明导电层的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

通过上述权利要求1-6任意一项所述的石墨烯薄膜的制作方法制成石墨烯薄膜；

使用所述石墨烯薄膜作为显示面板的基板的透明导电层。