[发明专利]一种旋转式密封性测试装置、方法和加工方法

说明书

本发明公开了一种旋转式密封性测试装置、方法和加工方法，包括至少一个气密性测试结构，气密性测试结构包括主壳体、旋转体、测试夹具；主壳体内部设置有容纳腔室，主壳体上设置有分别与容纳腔室相导通的进/排气通道、测试通道；旋转体设置于容纳腔室内、且旋转体与主壳体之间可相对旋转；旋转体内设置有一个气路通道，气路通道的两端具有分别与容纳腔室连通的第一连接口和第二连接口；测试夹具包括测试夹具本体，测试夹具本体上设置有测试腔，测试腔与测试通道相导通；还包括密封结构。本发明具有结构简单、加工及装配方便和测试精度好的特点，易于加工成超小内容腔的测试气路结构，满足超小密封品的气密性测试要求和批量化应用。

技术领域

本发明涉及一种气密性测试结构，具体涉及一种适应于超小密封品的旋转式密封性测试装置、方法和加工方法。

背景技术

由于电子元器件、如晶振、芯片等的小型化，产品的体积越来越小，就需要更小的测试内容积来提高测试的感度和精度，达到理想的测试效果。现有技术中，申请号为201910334704.5的中国发明专利公开了一种差压式气密性测试仪及测试方法，差压式气密性测试仪包括气源接口、充/吸气阀、泄气阀、第一保压阀、第二保压阀、差压传感器、第一分压阀、第二分压阀、被测物接口、基准物接口、第一分压罐及第二分压罐；气源接口连接充/吸气阀，充/吸气阀的出气端分别连接第一保压阀、第二保压阀及泄气阀；第一保压阀连接被测物接口；第二保压阀连接基准物接口；差压传感器一端连接在第一保压阀与被测物接口之间，另一端连接在第二保压阀与基准物接口之间；第一分压阀的一端连接在第一保压阀与被测物接口之间，另一端连接第一分压罐；第二分压阀的一端连接在第二保压阀与基准物接口之间，另一端连接第二分压罐。这种结构的测试气路存在结构复杂、加工难、装配难、内容腔体积大的缺点，导致成本高、效率低，难以满足更高的测试要求和批量化应用。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明的目的之一在于提供旋转式密封性测试装置，该装置用于对密封品进行小漏测试或者是同时进行小漏和大漏测试，具有结构简单、加工及装配方便和测试精度好的特点；进一步地，它尤其易于加工成超小内容腔的测试气路结构，满足超小密封品的气密性测试要求和批量化应用。

本发明的目的之二在于提供一种旋转式密封性测试装置的测试方法，该方法具有测试精度好、操作方便、工作效率高、人工成本低的特点。

本发明的目的之三在于提供一种旋转式密封性测试装置的加工方法，该方法具有加工方便及装配简单的特点，解决了壳体内部的容纳腔室、气路、密封槽的加工及密封件的装配难题。

本发明的目的之一采用如下技术方案实现：

一种旋转式密封性测试装置，其特征在于，包括至少一个气密性测试结构，所述气密性测试结构包括主壳体、旋转体、测试夹具；

所述主壳体内部设置有容纳腔室，所述主壳体上设置有分别与所述容纳腔室相导通的进/排气通道、测试通道；

所述旋转体设置于所述容纳腔室内、且旋转体与主壳体之间可相对旋转；所述旋转体内设置有一个气路通道，所述气路通道的两端具有分别与容纳腔室连通的第一连接口和第二连接口；

所述测试夹具包括测试夹具本体，所述测试夹具本体上设置有测试腔，所述测试腔与所述测试通道相导通；

还包括密封结构；

在旋转体相对主壳体沿逆时针或顺时针旋转过程中，气密性测试结构同时满足以下条件：

条件一：气路通道的第一连接口与进/排气通道对接连通、且它们之间的连接处通过所述密封结构密封，气路通道的第二连接口与测试通道对接连通、且它们之间的连接处通过所述密封结构密封，使得进/排气通道、气路通道、测试通道与测试腔依次导通形成密封的充/吸气通道；