[发明专利]蚀刻装置及蚀刻方法

权利要求书

1.一种蚀刻装置，其特征在于，包括：

池体，所述池体上设置有第一反应槽；

第一辅助装置，所述第一辅助装置包括第一放置架和第一驱动装置，至少一部分的所述第一放置架置于所述第一反应槽中，所述第一驱动装置能够驱使所述第一放置架沿前后方向作往复运动，以及能够驱使所述第一放置架沿左右方向作往复运动，所述第一驱动装置还能够驱使所述第一放置架沿上下方向运动。

2.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，还包括第二辅助装置，所述池体上还设置有第二反应槽，所述第二辅助装置包括第二放置架和第二驱动装置，至少一部分的所述第二放置架置于所述第二反应槽中，所述第二驱动装置能够驱使所述第二放置架沿前后方向作往复运动，以及能够驱使所述第二放置架沿左右方向作往复运动，所述第二驱动装置还能够驱使所述第二放置架沿上下方向运动。

3.根据权利要求2所述的蚀刻装置，其特征在于，所述池体上还设置有清洗槽和烘干槽，所述第一反应槽、所述第二反应槽、所述清洗槽和所述烘干槽沿直线依次设置。

4.根据权利要求1至3任一项所述的蚀刻装置，其特征在于，所述第一驱动装置包括第一驱动元件、第一转盘、第一连杆、第一滑块和第一滑轨，所述第一驱动元件包括第一转轴，所述第一转盘与所述第一转轴固定连接，所述第一连杆的一端与所述第一转盘转动连接，所述第一连杆的另一端与所述第一放置架转动连接，所述第一转轴的转动轴心为第一轴心，所述第一连杆的所述一端与所述第一转盘的转动轴心为第二轴心，所述第一轴心和所述第二轴心不共线；所述第一滑块与所述第一放置架固定连接，所述第一滑块和所述第一滑轨滑动连接，所述第一滑轨的长度方向沿前后方向设置。

5.根据权利要求4所述的蚀刻装置，其特征在于，第一驱动元件为第一电机。

6.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，还包括通气装置，所述通气装置能够向所述第一反应槽中的蚀刻液通入气体。

7.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，所述第一放置架包括托板，所述托板置于所述第一反应槽中，所述托板上设置有多个第一通孔。

8.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，还包括加热装置，所述加热装置能够加热所述第一反应槽中的蚀刻液。

9.一种蚀刻方法，其特征在于，包括以下步骤：

S100、将第一蚀刻液加入到第一反应槽中，将物料放置在第一放置架上；

S200、启动第一驱动装置，使物料在所述第一蚀刻液中沿平行于物料的蚀刻面的方向运动；

S300、将物料从所述第一放置架中取出。

10.根据权利要求9所述的蚀刻方法，其特征在于，在步骤S200中，所述第一蚀刻液的温度不小于35°，且不大于40°，物料在所述第一蚀刻液中的浸泡时间为不短于15分钟，且不长于40分钟。