[发明专利]蚀刻装置及蚀刻方法

说明书

本发明公开了一种蚀刻装置及蚀刻方法，包括：池体，池体上设置有第一反应槽；第一辅助装置，第一辅助装置包括第一放置架和第一驱动装置，至少一部分的第一放置架置于第一反应槽中，第一驱动装置能够驱使第一放置架沿前后方向作往复运动，以及能够驱使第一放置架沿左右方向作往复运动，第一驱动装置还能够驱使第一放置架沿上下方向运动。本发明能够使得处理后的玻璃的厚薄均匀，厚度误差小，玻璃的不良率低。

技术领域

本发明涉及玻璃蚀刻技术领域，尤其是涉及一种蚀刻装置及蚀刻方法。

背景技术

随着科技的进步，越来越多的可穿戴设备(如手机、掌上电脑和笔记本电脑)采用柔性玻璃做玻璃盖板。目前市场可生产的超薄玻璃为0.07mm，如需要获得更加轻薄的玻璃，就需对玻璃进行蚀刻减薄。现有的蚀刻装置，玻璃置于蚀刻液中，由蚀刻液自由腐蚀，处理后的玻璃的厚薄不均，厚度误差大，不良率高。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种蚀刻装置，能够使得处理后的玻璃的厚薄均匀，厚度误差小，玻璃的不良率低。

第一方面，本发明的一个实施例提供了一种蚀刻装置，包括：池体，所述池体上设置有第一反应槽；第一辅助装置，所述第一辅助装置包括第一放置架和第一驱动装置，至少一部分的所述第一放置架置于所述第一反应槽中，所述第一驱动装置能够驱使所述第一放置架沿前后方向作往复运动，以及能够驱使所述第一放置架沿左右方向作往复运动，所述第一驱动装置还能够驱使所述第一放置架沿上下方向运动。

本发明实施例的蚀刻装置至少具有如下有益效果：池体上设置有第一反应槽，第一反应槽可盛放第一蚀刻液；至少一部分的第一放置架置于第一反应槽中，也即玻璃放置到第一放置架上后，玻璃能够浸入到第一反应槽中的第一蚀刻液中；第一驱动装置能够驱使第一放置架沿前后方向作往复运动，以及能够驱使第一放置架沿左右方向作往复运动，第一驱动装置还能够驱使第一放置架沿上下方向运动，也即，玻璃无论是平放还是竖放，在第一驱动装置的作用下，玻璃均可沿平行玻璃的蚀刻面的方向运动到第一蚀刻液的各个位置；传统的蚀刻装置，将玻璃静置于第一蚀刻液中，一段时间后，玻璃周围的蚀刻液的浓度将发生变化，不再均匀一致，这容易导致玻璃厚薄不均，玻璃厚度误差大，而玻璃在第一蚀刻液中运动后，玻璃可与各处的第一蚀刻液反应，不容易造成某一区域的第一蚀刻液的浓度急剧下降的现象，第一反应槽中的第一蚀刻液始终较为均匀，由此使玻璃均匀减薄，处理后的玻璃误差小，玻璃的合格率高。

根据本发明的另一些实施例的蚀刻装置，还包括第二辅助装置，所述池体上还设置有第二反应槽，所述第二辅助装置包括第二放置架和第二驱动装置，至少一部分的所述第二放置架置于所述第二反应槽中，所述第二驱动装置能够驱使所述第二放置架沿前后方向作往复运动，以及能够驱使所述第二放置架沿左右方向作往复运动，所述第二驱动装置还能够驱使所述第二放置架沿上下方向运动。

根据本发明的另一些实施例的蚀刻装置，所述池体上还设置有清洗槽和烘干槽，所述第一反应槽、所述第二反应槽、所述清洗槽和所述烘干槽沿直线依次设置。

根据本发明的另一些实施例的蚀刻装置，所述第一驱动装置包括第一驱动元件、第一转盘、第一连杆、第一滑块和第一滑轨，所述第一驱动元件包括第一转轴，所述第一转盘与所述第一转轴固定连接，所述第一连杆的一端与所述第一转盘转动连接，所述第一连杆的另一端与所述第一放置架转动连接，所述第一转轴的转动轴心为第一轴心，所述第一连杆的所述一端与所述第一转盘的转动轴心为第二轴心，所述第一轴心和所述第二轴心不共线；所述第一滑块与所述第一放置架固定连接，所述第一滑块和所述第一滑轨滑动连接，所述第一滑轨的长度方向沿前后方向设置。

根据本发明的另一些实施例的蚀刻装置，第一驱动元件为第一电机。

根据本发明的另一些实施例的蚀刻装置，还包括通气装置，所述通气装置能够向所述第一反应槽中的蚀刻液通入气体。