[发明专利]一种晶硅多线切割降低金刚线损耗的切割方法

说明书

本发明公开了一种晶硅多线切割降低金刚线损耗的切割方法，属于晶硅加工技术领域，线网从左向右切割晶硅，切割过程依次包括第一切割过程和第二切割过程，第一切割过程中进线量大于回线量，第二切割过程中进线量小于回线长度，第一切割过程和第二切割过程采用已使用过的金刚线，实现金刚线的重复利用，降低金刚线的损耗，降低多线切割的成本，具有广阔的市场前景。

技术领域

本发明属于晶硅加工技术领域，具体地说涉及一种晶硅多线切割降低金刚线损耗的切割方法。

背景技术

目前，硅片是太阳电池最主要的制作材料，随着光伏技术的不断发展，硅片采用多线切割工艺。多线切割装置包括量2个横向分布的切割辊左，切割辊右，切割辊上开有线槽且布满线网。金钢线沿切割辊左进线端进线，沿线槽将2个主辊布满，并从切割辊右的钢线出线端出线。钢线从进线端和出线端出来以后，经过小导轮与金刚线收放线控制装置相连，金刚线控制装置用来控制金刚线的进出线，以控制金刚线的线运行速度、加减速和线张力。

切片端如何降本增效是硅切片生存下去的方向，金刚线是硅切片端一个重要的辅材，耗线的降低，对硅片成本的下降有明显的影响。目前行业技术升级，普遍采用金刚线专用机进行硅片加工，采用母线55μm金刚线进行切割，且如果线网从右向左进行切割，是采用新线进刀，中间用的是旧线，后面是旧线，如果这样，中间采用旧线，切割力不强，会导致不能快速切割，导致切割时间降低，耗线问题一直居高不下。因此，探寻一种能够有效降低金刚线线耗的切割方法对多线切割具有重要意义。

发明内容

针对现有技术的种种不足，现提出一种晶硅多线切割降低金刚线损耗的切割方法。

线网从左向右进行切割的过程，是采用旧线进刀，中间用的是新线，后面是旧线，即：旧线→新线→旧线，入刀阶段台速不能过快，所以使用旧线不会影响切割时间和线量，而后中间采用新线切割，新线切割力强，便于快速提升台速，减少切割时间，后面收刀时候台速也要放慢，所以可以使用旧线(中间切割过程用过的和入刀时用过的金刚线)。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种晶硅多线切割降低金刚线损耗的切割方法，线网从左向右切割晶硅，切割过程依次包括第一切割过程和第二切割过程，第一切割过程中进线量大于回线量，第二切割过程中进线量小于回线长度，实现第一切割过程中采用已使用过的金刚线，实现金刚线的重复利用，降低金刚线的损耗。

优选地，第一切割过程和第二切割过程中金刚线的张力设置为可调。

优选地，包括以下步骤：

S1：零点设置：切割时单晶硅棒刚接触线网的位置设为零点，开始切割位置的坐标为-0.5mm；

S2：设置喷淋方式与喷淋位置；

S3：设置工艺参数；

S4：开机。

优选地，第一切割过程线网位于距离零点0～110mm之间，第二切割过程线网位于距离零点110mm至切割结束位置。

优选地，步骤S2中，喷淋采用溢流管形式，溢流管下端离线网高度为5～7mm。

优选地，步骤S3中，包括以下步骤：

步骤a：进刀阶段，距离零点0～30mm位置之间，台速设定为1300～1500μm/min，设定进线量大于回线量；

步骤b：台速提升阶段，距离零点30～140mm位置之间，台速设定为3300～4000μm/min，切割液温度设定为17～20℃；

步骤c：收刀台速降低阶段，距离零点140mm至切割结束，台速逐渐降至100～300μm/min，进线量小于回线量。