[发明专利]钝化层的处理方法和设备

权利要求书

1.一种钝化层的处理方法，其特征在于，包括：

提供一晶圆，所述晶圆上形成有钝化层，所述钝化层包括聚酰亚胺；

对所述晶圆上的钝化层进行灰化处理以提高所述钝化层的疏水性，所述灰化处理的反应气体包括氧气和氮气，所述灰化处理的温度小于250摄氏度；

对所述灰化处理后的钝化层进行湿法剥离处理。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述对所述晶圆上的钝化层进行灰化处理，包括：

将所述晶圆放置于灰化设备的载片台的突起结构上对所述晶圆进行所述灰化处理，所述灰化设备上设置有至少三个所述突起结构。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述突起结构的高度大于10毫米。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述灰化处理的功率为1000瓦至2000瓦。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在将所述晶圆放置于灰化设备的载片台的突起结构上，还包括：

在所述晶圆上形成所述钝化层；

对所述钝化层进行热处理使固化。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述对所述钝化层进行热处理使固化，包括：

在炉管中对所述钝化层进行所述热处理。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述热处理的温度为300摄氏度至400摄氏度。