[发明专利]一种COB固晶平衡方法、系统及COB固晶机

权利要求书

1.一种COB固晶平衡方法，其特征在于，控制固晶头将多个晶圆盘中的晶圆进行提取，然后控制固晶头将提取的晶圆在基板上进行固晶，在固晶时，确保每一个固晶点周围固定不同电参数的晶圆。

2.根据权利要求1所述的COB固晶平衡方法，其特征在于，针对每个晶圆盘已经经过厂家筛选，即电参数相近的晶圆放到一个晶圆盘中的情况，每个晶圆盘内部的晶圆发光波长相近，首先将多个晶圆盘固定到位，然后在固晶时，确保每个固晶点上下左右的晶圆来自不同的晶圆盘，从而使每一个固晶点周围都是不同波长的晶圆；电参数相近的晶圆是指电参数在设定范围内的晶圆。

3.根据权利要求1所述的COB固晶平衡方法，其特征在于，针对每个晶圆盘没有经过厂家筛选的情况，每个晶圆盘对应一个mapping表，mapping表定义了晶圆盘中每一个晶圆的电参数，将mapping表输入计算机控制程序，计算机控制程序可以识别每一个晶圆盘里每一个晶圆对应的电参数，在固晶时，计算机控制程序控制所述固晶头在不同的固晶点固定不同电参数的晶圆，从而使每一个固晶点周围都是不同波长的晶圆。

4.根据权利要求1至3任一项所述的COB固晶平衡方法，其特征在于，所述固晶头为两个。

5.一种COB固晶平衡系统，其特征在于，包括：

晶圆提取模块：用于控制固晶头从多个晶圆盘中的晶圆进行提取；

固晶模块：用于控制固晶头将提取的晶圆在基板上进行固晶，在固晶时用于固定焊点位置，计算机按照一定算法确保每一个固晶点周围固定不同电参数的晶圆。

6.根据权利要求5所述的COB固晶平衡系统，其特征在于，针对每个晶圆盘已经经过厂家筛选，即电参数相近的晶圆放到一个晶圆盘中的情况，每个晶圆盘内部的晶圆发光波长相近，首先将多个晶圆盘固定到位并记录顺序，然后在固晶时，确保每个固晶点上下左右的晶圆来自不同的晶圆盘，从而使每一个固晶点周围都是不同波长的晶圆。

7.根据权利要求5所述的COB固晶平衡系统，其特征在于，针对每个晶圆盘没有经过厂家筛选的情况，每个晶圆盘对应一个mapping表，mapping表定义了晶圆盘中每一个晶圆的电参数，将mapping表输入计算机控制程序，计算机控制程序可以识别每一个晶圆盘里每一个晶圆对应的电参数，在固晶时，计算机控制程序控制所述固晶头在不同的固晶点固定不同电参数的晶圆。

8.根据权利要求5至7任一项所述的COB固晶平衡系统，其特征在于，所述固晶头为两个。

9.一种COB固晶机，其特征在于，包括一个固晶台、二个固晶头和多个晶圆盘，多个晶圆盘分布在所述固晶台两侧，二个固晶头位于所述固晶台两侧，所述晶圆盘内设有晶圆，所述固晶头用于将多个晶圆盘中的晶圆对所述固晶台上放置的基板进行固晶，该COB固晶机安装有权利要求5-8任一项所述的COB固晶平衡系统。

10.根据权利要求9所述的COB固晶机，其特征在于，该COB固晶机还包括两个摆臂、两个摆臂驱动机构、直线电机，两个所述摆臂与两个所述摆臂驱动机构相连，两个所述摆臂驱动机构分别驱动两个所述摆臂的摆动，两个所述固晶头分别安装在两个所述摆臂上，所述直线电机驱动所述晶圆盘移动。