[发明专利]一种基于PDMS的块材转移固定方法

权利要求书

1.一种基于PDMS的块材转移固定方法，包括步骤一，准备工作；步骤二，处理单晶：步骤三，涂胶：步骤四，转移单晶；其特征在于，步骤一中包括：

a.打开二维转移平台，将平台加热装置温度设置在65度，并使平台的样品台温度维持在65度左右；

b.将木牙签削尖；

c.提前配置好环氧树脂；

所述步骤二中包括：

a.使用Nitto 蓝膜胶带将块状的材料多次解理，并将解理完成的单晶转移到PDMS上；

b.使用牙签将PDMS上单晶附近的杂物除去；

所述步骤三中包括：

a.将装有PDMS和样品的载玻片置于光学显微镜下，调整焦距使移动显微镜样品台，使单晶处于显微镜视野中心位置；

b.使用削尖后的木牙签，蘸取少许环氧树脂，然后借助光学显微镜，将环氧树脂涂在样品表面；

所述步骤四中包括：

a.将涂完环氧树脂后的载玻片装载到二维转移平台夹片台上，借助二维转移平台上的显微镜将样品对准衬底合适的位置；

b.下压夹片台，使样品与衬底目标位置进行贴合，应尽量保证贴合紧密；

c.持续65度加热5到8分钟，加热过程中保持样品和衬底之间无相对位移；

d.加热完成后，移开夹片台，取出样品，完成转移；

所述步骤二中，蓝膜胶带黏性低，解理过程中不易留下残胶，从而减少样品的污染；所述步骤二解理中挑出线状单晶最小单元，单晶包括块状单晶和线状单晶；所述步骤二将单晶转移到PDMS上，再涂环氧树脂。

2.根据权利要求1所述的一种基于PDMS的块材转移固定方法，其特征在于，所述步骤四中单晶和衬底之间的环氧树脂之间含有的气泡去除。

3.根据权利要求1所述的一种基于PDMS的块材转移固定方法，其特征在于，所述步骤四中下压夹片台挤压出多余的环氧树脂，PDMS较为柔软，夹片台通过载玻片挤压PDMS，使得PDMS与柱状单晶接触面增多，挤出多余的环氧树脂。

4.根据权利要求1所述的一种基于PDMS的块材转移固定方法，其特征在于，所述环氧树脂覆盖单晶侧面，在制备电极时侧面固化的环氧树脂。

5.根据权利要求1所述的一种基于PDMS的块材转移固定方法，其特征在于，利用聚二甲基硅氧烷薄膜对块材或者二维材料进行转移固定，利用PDMS转移块材到衬底，并借助PDMS和环氧树脂固定块材和衬底。

6.根据权利要求1所述的一种基于PDMS的块材转移固定方法，其特征在于，所述步骤四夹片台下降到一定高度后，小范围内左右移动或前后移动，去除单晶和衬底之间的环氧树脂之间含有的气泡。