[发明专利]一种基于PDMS的块材转移固定方法有效

专利信息
申请号: 202010761186.8 申请日: 2020-07-31
公开(公告)号: CN111912683B 公开(公告)日: 2023-01-06
发明(设计)人: 王华兵;田王昊;陈士县;徐祖雨;王永磊;孙汉聪;吴培亨 申请(专利权)人: 南京大学
主分类号: G01N1/28 分类号: G01N1/28;G01N1/34;G01N1/44
代理公司: 亳州速诚知识产权代理事务所(普通合伙) 34157 代理人: 刘佳
地址: 210023 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 pdms 转移 固定 方法
【说明书】:

发明公开了一种基于PDMS的块材转移固定方法,具体步骤如下,打开二维转移平台,将平台加热装置温度设置在65度,并使平台的样品台温度维持在65度左右,提前配置好环氧树脂,将清洗干净的放在烘台上95度烘烤2分钟,然后放置在二维转移平台的样品台上,本发明的一种基于PDMS的块材转移固定方法,同时可以使单晶上表面不被环氧树脂覆盖,能够确保与PDMS接触的单晶面不会被环氧树脂覆盖,调节夹片台和样品台的平面的水平位置,使单晶表面与衬底表面平行,在制备电极时侧面固化的环氧树脂,阻挡电极短路单晶的不同层。

技术领域

本发明涉及块材转移技术领域,特别涉及一种基于PDMS的块材转移固定方法。

背景技术

PDMS又称为二甲基硅氧烷,目前,对于各种块材以及由各种块材制备的各种器件性质得研究一般都需要研究其电学输运特性、光学特性等,而研究这些性质需要不仅需要将块进行解理成薄片,转移到衬底上,有时还需要将块材或者从块材解理下的薄片进行固定;对于上文提到的块材或者薄片的有时需要将其固定在特定的衬底上,然后利用微加工工艺进行处理;目前对于各种材料的薄片与衬底的固定,多是通过范德瓦尔兹力进行结合;这种固定方法存在以下问题:

1.对于一些特殊形状的材料,无法通过传统的范德瓦尔兹力进行固定;例如圆柱形,由于与衬底接触面较小而无法通过范德瓦尔兹力与衬底固定;

2.通过传统的手段,使用胶水等环氧树脂固定的块材,由于环氧树脂不易均匀分布在衬底和块材之间,在块材和衬底之间会留有气泡,且环氧树脂厚度一般都较厚等缺点;

3.对于一些特殊的周期性层状二维材料,有时需要研究层间性质;如果对单晶不进行处理,制备电极时层间会短;

现有的方法,仅仅依靠块材与衬底之间的范德瓦尔兹力连接块材和衬底,其应用范围小,且不能满足一些特殊的场合使用,为此,我们提出一种基于PDMS的块材转移固定方法。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种基于PDMS的块材转移固定方法,主要解决以下技术问题:现有的一种基于PDMS的块材转移固定方法,对于一些特殊形状的材料,无法通过传统的范德瓦尔兹力进行固定;例如圆柱形,由于与衬底接触面较小而无法通过范德瓦尔兹力与衬底固定.通过传统的手段,使用胶水等环氧树脂固定的块材,由于环氧树脂不易均匀分布在衬底和块材之间,在块材和衬底之间会留有气泡,且环氧树脂厚度一般都较厚等缺点;对于一些特殊的周期性层状二维材料,有时需要研究层间性质;如果对单晶不进行处理,制备电极时层间会短为此,我们提出一种基于PDMS的块材转移固定方法。

为实现上述目的,本发明采取的技术方案为:一种基于PDMS的块材转移固定方法,具体步骤如下:

步骤一,准备工作:

a.打开二维转移平台,将平台加热装置温度设置在65度,并使平台的样品台温度维持在65度左右;

b.将木牙签削的尽可能的尖,竹牙签或者金属针比较硬,容易戳坏单晶和PDMS,因此使用木牙签,从而避免使用竹牙签或者金属针;

c.提前配置好环氧树脂;

d.将清洗干净的放在烘台上95度烘烤2分钟,然后放置在二维转移平台的样品台上;

步骤二,处理单晶:

a.使用Nitto 蓝膜胶带将块状的材料多次解理,或挑出线状单晶最小单元,并将解理完成的单晶转移到PDMS上,其中,蓝膜胶带黏性较低,解理过程中不易留下残胶,从而减少样品的污染,单晶:包括块状单晶和线状单晶。

b.使用牙签将PDMS上单晶附近的杂物尽可能除去。

步骤三,涂胶:

a.将装有PDMS和样品的载玻片置于光学显微镜下,调整焦距使移动显微镜样品台,使单晶处于显微镜视野中心位置。

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