[发明专利]一种防振型晶圆升降机构

权利要求书

1.一种防振型晶圆升降机构，包括底座(1)，所述底座(1)上端分别与传动箱(2)和罩体(3)相连接，所述罩体(3)内侧与丝杆(4)滑动配合；

其特征在于：还包括固定机构(5)，所述丝杆(4)顶部与所述固定机构(5)相连接，所述固定机构(5)包括环体(51)、放置槽(52)、转动钮(53)、轴承(54)、第一齿盘(55)、锥形齿轮(56)、转动杆(57)、第二齿盘(58)、螺纹套(59)和橡胶块(510)，所述环体(51)底部与所述丝杆(4)相连接，并且所述环体(51)中部开设有所述放置槽(52)，所述转动钮(53)右侧通过所述轴承(54)与所述环体(51)内部转动配合，所述第一齿盘(55)圆心处紧固在所述转动钮(53)中部，所述锥形齿轮(56)通过所述转动杆(57)与所述环体(51)内部上下两端转动配合，并且所述锥形齿轮(56)两端分别与所述第一齿盘(55)和所述第二齿盘(58)相啮合，所述螺纹套(59)顶部通过轴承与所述环体(51)转动配合，并且所述螺纹套(59)中部与所述第二齿盘(58)紧固，所述橡胶块(510)顶部与所述螺纹套(59)滑动配合。

2.根据权利要求1所述一种防振型晶圆升降机构，其特征在于：所述环体(51)底部设置有加固环，并且所述加固环内径与所述丝杆(4)外径相同。

3.根据权利要求1所述一种防振型晶圆升降机构，其特征在于：所述转动钮(53)左侧设置有内六角螺栓口，并且所述转动钮(53)左侧上下两端呈弧形。

4.根据权利要求1所述一种防振型晶圆升降机构，其特征在于：所述锥形齿轮(56)相互对称设置有两个，并且所述锥形齿轮(56)两端倾斜角度为90度。

5.根据权利要求1所述一种防振型晶圆升降机构，其特征在于：所述转动杆(57)头尾两端均设置有限位轴承，并且所述转动杆(57)呈45度倾斜安装。

6.根据权利要求1所述一种防振型晶圆升降机构，其特征在于：所述第二齿盘(58)直径是所述第一齿盘(55)直径的百分之八十，并且所述第二齿盘(58)和所述第一齿盘(55)呈90度垂直安装。

7.根据权利要求1所述一种防振型晶圆升降机构，其特征在于：所述螺纹套(59)内侧纹路与所述橡胶块(510)外侧纹路相同，并且所述螺纹套(59)外径是所述橡胶块(510)外径的1.3倍。

8.根据权利要求1所述一种防振型晶圆升降机构，其特征在于：所述橡胶块(510)底部倾斜角度为45度，并且所述橡胶块(510)顶部设置有限位环。

9.根据权利要求1所述一种防振型晶圆升降机构，其特征在于：所述传动箱(2)的侧面通过一个楔形加固结构与所述底座(1)连接。

10.根据权利要求1所述一种防振型晶圆升降机构，其特征在于：所述橡胶块(510)呈子弹形结构，具有一个尖部和一个体部，所述尖部伸入所述放置槽(52)中。