[发明专利]一种晶圆热盘结构

权利要求书

1.一种晶圆热盘结构，包括主体(1)和温度控制器(9)，所述主体(1)通过合页与顶盖(2)铰接，所述主体(1)顶部固定连接有把手(3)，所述主体(1)连接有电源线(5)，所述主体(1)右侧面设有工控模块(6)，所述主体(1)内部设有加热盘体(7)，所述加热盘体(7)内固定连接有加热丝(8)，所述主体(1)内部设有所述温度控制器(9)，所述电源线(5)、所述加热盘体(7)、所述加热丝(8)和所述温度控制器(9)均与所述工控模块(6)电连接；

其特征在于：还包括调节机构(4)，所述调节机构(4)位于所述主体(1)内部，且所述调节机构(4)固定安装于所述加热盘体(7)下端。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆热盘结构，其特征在于：所述调节机构(4)包括转动杆(41)、丝杆(42)、底板(43)、第一连杆(44)、第二连杆(45)、顶板(46)和支撑机构(47)，所述转动杆(41)右端与所述加热盘体(7)转动连接，所述转动杆(41)右端与所述丝杆(42)同轴转动，所述底板(43)固定安装于加所述热盘体(7)内底端，所述第一连杆(44)下端与所述底板(43)转动连接，并且所述第一连杆(44)下端与所述丝杆(42)螺纹连接，所述第二连杆(45)中端与所述第一连杆(44)转动连接，所述顶板(46)底端与所述第一连杆(44)转动连接，所述支撑机构(47)固定安装于所述顶板(46)顶端。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆热盘结构，其特征在于：所述支撑机构(47)包括支撑杆(471)、弹簧(472)和接触板(473)，所述支撑杆(471)底部与所述顶板(46)固定连接，所述弹簧(472)一端与所述支撑杆(471)固定连接，所述接触板(473)与所述弹簧(472)另一端固定连接。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆热盘结构，其特征在于：所述加热盘体(7)下端设有一安装槽，且加热盘体(7)左端连接有一辅助孔。

5.根据权利要求2所述的一种晶圆热盘结构，其特征在于：所述丝杆(42)无外力迫使时，所述支撑杆(471)顶端面与所述加热盘体(7)顶端面相持平。

6.根据权利要求2所述的一种晶圆热盘结构，其特征在于：所述顶板(46)与所述支撑杆(471)垂直连接，且所述顶板(46)的上端呈圆柱形结构。

7.根据权利要求3所述的一种晶圆热盘结构，其特征在于：所述弹簧(472)无外力迫使时，所述接触板(473)侧面与所述加热盘体(7)相互接触，并且所述接触板(473)上下两端与所述支撑杆(471)紧密相连接。

8.根据权利要求3所述的一种晶圆热盘结构，其特征在于：所述支撑杆(471)呈等距安装于所述顶板(46)顶部，且所述支撑杆(471)与所述加热盘体(7)内侧面之间的间隔为0.1CM。

9.根据权利要求3所述的一种晶圆热盘结构，其特征在于：所述弹簧(472)呈对称安装于所述接触板(473)上下两端，且所述接触板(473)固定安装于所述支撑杆(471)左右两端。

10.根据权利要求9所述的一种晶圆热盘结构，其特征在于：所述支撑杆(471)具有肩部，所述接触板(473)固定安装于所述支撑杆(471)肩部的左右两端。