[发明专利]光掩模收容装置

权利要求书

1.一种光掩模收容装置，其特征在于，该光掩模收容装置包含：

一上盖，具有一顶部和一覆盖部，该覆盖部围绕该顶部；

一下盖，具有一承载部和一周围结构，该周围结构围绕该承载部，且当上盖和下盖结合时该周围结构面对该覆盖部；及

一柔性接触部件，配置成当该上盖和该下盖结合时横向延伸于该覆盖部和该周围结构之间，以缓冲该上盖和该下盖的结合。

2.如权利要求1所述的光掩模收容装置，其特征在于，该柔性接触部件自该光掩模收容装置的一内侧延伸至该光掩模收容装置的一外侧。

3.如权利要求1所述的光掩模收容装置，其特征在于，该上盖的覆盖部具有一朝下结合面，该柔性接触部件于该朝下结合面延伸并包覆该朝下结合面。

4.如权利要求2所述的光掩模收容装置，其特征在于，该柔性接触部件具有一朝下密封面，该朝下密封面用于和该下盖的周围结构的一朝上结合面接触。

5.如权利要求2所述的光掩模收容装置，其特征在于，该柔性接触部件具有一朝下密封面和自该朝下密封面向下延伸的至少一凸出部，至少一该凸出部用于和该下盖的周围结构的一朝上结合面接触。

6.如权利要求1所述的光掩模收容装置，其特征在于，该上盖的覆盖部具有一朝下结合面，该覆盖部具有自该朝下结合面向下延伸的多个支撑柱，该周围结构具有对应多个该支撑柱的多个容置凹部，各支撑柱具有至少一个弹性结构，以缓冲该上盖和该下盖的结合。

7.如权利要求1所述的光掩模收容装置，其特征在于，该下盖部的周围结构和承载部之间配置有至少一沟槽。

8.如权利要求1所述的光掩模收容装置，其特征在于，该上盖和该下盖定义一光掩模容置空间，该光掩模容置空间借由该柔性接触部件密封。

9.如权利要求8所述的光掩模收容装置，其特征在于，该上盖还具有至少一固定销，该固定销自该上盖向下延伸用于接触该光掩模容置空间中的一光掩模，且未破坏该光掩模容置空间的密封。

10.一种光掩模收容装置，其特征在于，该光掩模收容装置包含：

一上盖，具有一顶部和一覆盖部，该覆盖部围绕该顶部；

一下盖，具有一承载部和一周围结构，该周围结构围绕该承载部；

一第一柔性接触部件，横向延伸于该上盖的覆盖部的一朝下结合面；及

一第二柔性接触部件，横向延伸于该下盖的周围结构的一朝上结合面，

其中，当该上盖和该下盖结合时，该第一柔性接触部件与该第二柔性接触部件相接触，以缓冲该上盖和该下盖的结合。

11.如权利要求10所述的光掩模收容装置，其特征在于，该第一柔性接触部件的一内侧与该第二柔性接触部件的一外侧相接触。

12.如权利要求10所述的光掩模收容装置，其特征在于，该第一柔性接触部件的至少一部分包覆该上盖的覆盖部。

13.如权利要求10所述的光掩模收容装置，其特征在于，该第一柔性接触部件的硬度大于该第二柔性接触部件的硬度。

14.如权利要求10所述的光掩模收容装置，其特征在于，该上盖的覆盖部具有一朝下结合面，该覆盖部具有自该朝下结合面向下延伸的多个支撑柱，该周围结构具有对应多个该支撑柱的多个容置凹部，各支撑柱具有至少一个弹性结构，以缓冲该上盖和该下盖的结合。

15.如权利要求10所述的光掩模收容装置，其特征在于，该下盖部的周围结构和承载部之间配置有至少一沟槽。