[发明专利]石英粉研磨装置及系统在审

专利信息
申请号: 202010766175.9 申请日: 2020-08-03
公开(公告)号: CN111921634A 公开(公告)日: 2020-11-13
发明(设计)人: 马龙 申请(专利权)人: 吉林华微电子股份有限公司
主分类号: B02C15/14 分类号: B02C15/14;B02C25/00
代理公司: 成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙) 51310 代理人: 唐维虎
地址: 132000 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 石英粉 研磨 装置 系统
【权利要求书】:

1.一种石英粉研磨装置,其特征在于,包括:

研磨平台(110),所述研磨平台(110)包括上盖(112)和与所述上盖(112)固定的底座(114),所述上盖(112)上开设有行程槽(116);

设置在所述行程槽(116)内,用于在所述行程槽(116)的两端之间往复传动的研磨传动组件(120),所述研磨传动组件(120)上设置有用于容置石英粉的研磨槽(122);

与所述研磨传动组件(120)连接的控制组件(130),所述控制组件(130)用于控制所述研磨传动组件(120)在所述行程槽(116)的两端之间进行往复传动;以及

用于对所述研磨槽(122)中的石英粉进行研磨的研磨组件(140),所述研磨组件(140)通过支撑组件(150)固定于所述上盖(112)上,并用于在所述支撑组件(150)的控制下调整对所述石英粉的研磨力度。

2.根据权利要求1所述的石英粉研磨装置,其特征在于,所述研磨传动组件(120)包括:

研磨传动主体(123);

设置于所述研磨传动主体(123)的侧板(124)的齿轮(125),所述齿轮(125)与所述控制组件(130)连接;

设置于所述研磨传动主体(123)的侧板(124),并与所述齿轮(125)啮合的齿条(126),所述齿条(126)的传动方向与所述行程槽(116)的延伸方向平行;以及

设置于所述研磨传动主体(123)的底部的滑轮(127);

所述齿轮(125)用于在所述控制组件(130)的控制下带动所述齿条(126)往复传动,以带动所述滑轮(127)在所述行程槽(116)的两端之间进行往复移动。

3.根据权利要求2所述的石英粉研磨装置,其特征在于,所述控制组件(130)包括:

控制电机(132),所述上盖(112)开设有电机通孔(1122),所述控制电机(132)的转轴(134)穿过所述电机通孔(1122)与所述齿轮(125)连接;

与所述控制电机(132)电性连接的继电器;以及

分别设置在所述行程槽(116)的两端,并与所述继电器电性连接的压力传感器;

当所述研磨传动组件(120)传动到所述行程槽(116)的任意一端时,该端的压力传感器生成压力触发信号并将所述压力触发信号发送给所述继电器,所述继电器在检测到所述压力触发信号时,控制所述控制电机(132)沿与当前的传动方向相反的传动方向转动。

4.根据权利要求2所述的石英粉研磨装置,其特征在于,所述滑轮(127)的两侧还设置有滑轮支撑板(128),所述滑轮支撑板(128)上开设有滑轮通孔(1285),所述滑轮(127)包括穿过所述滑轮通孔(1285),并与所述滑轮支撑板(128)活动连接的转轴(1271)。

5.根据权利要求1所述的石英粉研磨装置,其特征在于,所述研磨组件(140)包括:

研磨碾子(142);以及

位于所述研磨碾子(142)两端的支撑连接件(144);

所述支撑连接件(144)与所述支撑组件(150)配合以固定于所述上盖(112)上。

6.根据权利要求5所述的石英粉研磨装置,其特征在于,所述研磨碾子(142)采用石英材质制作而成。

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