[发明专利]石英粉研磨装置及系统

说明书

本申请实施例提供一种石英粉研磨装置及系统，通过设计研磨平台，在研磨平台的上盖开设行程槽，控制组件控制研磨传动组件在行程槽的两端之间往复传动，并且研磨传动组件上设置有用于容置石英粉的研磨槽，研磨组件通过支撑组件固定于上盖上，在研磨传动组件的往复传动的过程中对石英粉进行研磨，并在支撑组件的控制下统一调整对石英粉的研磨力度。如此，通过模拟出操作员工的手工研磨流程并进行力度控制优化，能够提高石英粉研磨的力度均匀性，从而更好地达到均一性的研磨要求，进而便于提高后续双极集成电路产品的质量一致性，此外还可以有效降低操作人员的劳动强度，提高研磨效率。

技术领域

本申请涉及半导体生产加工技术领域，具体而言，涉及一种石英粉研磨装置及系统。

背景技术

在双极集成电路产品的制作过程中，需要使用到石英粉。经本申请发明人研究发现，石英粉在长期存放后容易吸附水汽等杂质，进而导致其粒径变大，不符合工艺要求。传统方案中，通常是对石英粉进行人工研磨，然后再进行人工筛粉，筛选过的石英粉再进行烘干等操作，从而可以使得石英粉的粒径变小。然而，人工处理由于力度不够均匀，无法达到均一性的研磨要求，这对后续双极集成电路产品的质量一致性会产生较大的影响。此外，人工研磨也会导致操作人员的劳动强度加大，并且研磨效率低下。

发明内容

基于现有设计的不足，本申请提供一种石英粉研磨装置及系统，能够提高石英粉研磨的力度均匀性，从而更好地达到均一性的研磨要求，进而便于提高后续双极集成电路产品的质量一致性，此外还可以有效降低操作人员的劳动强度，并且提高研磨效率。

根据本申请的第一方面，提供一种石英粉研磨装置，包括：

研磨平台(110)，所述研磨平台(110)包括上盖(112)和与所述上盖(112)固定的底座(114)，所述上盖(112)上开设有行程槽(116)；

设置在所述行程槽(116)内，用于在所述行程槽(116)的两端之间往复传动的研磨传动组件(120)，所述研磨传动组件(120)上设置有用于容置石英粉的研磨槽(122)；

与所述研磨传动组件(120)连接的控制组件(130)，所述控制组件(130)用于控制所述研磨传动组件(120)在所述行程槽(116)的两端之间进行往复传动；以及

用于对所述研磨槽(122)中的石英粉进行研磨的研磨组件(140)，所述研磨组件(140)通过支撑组件(150)固定于所述上盖(112)上，并用于在所述支撑组件(150)的控制下调整对所述石英粉的研磨力度。

在第一方面的一种可能的实施方式中，所述研磨传动组件(120)包括：

研磨传动主体(123)；

设置于所述研磨传动主体(123)的侧板(124)的齿轮(125)，所述齿轮(125)与所述控制组件(130)连接；

设置于所述研磨传动主体(123)的侧板(124)，并与所述齿轮(125)啮合的齿条(126)，所述齿条(126)的传动方向与所述行程槽(116)的延伸方向平行；以及

设置于所述研磨传动主体(123)的底部的滑轮(127)；

所述齿轮(125)用于在所述控制组件(130)的控制下带动所述齿条(126)往复传动，以带动所述滑轮(127)在所述行程槽(116)的两端之间进行往复移动。

在第一方面的一种可能的实施方式中，所述控制组件(130)包括：

控制电机(132)，所述上盖(112)开设有电机通孔(1122)，所述控制电机(132)的转轴(134)穿过所述电机通孔(1122)与所述齿轮(125)连接；

与所述控制电机(132)电性连接的继电器；以及