[发明专利]一种高压二极管合金后硅叠电镀金工艺

权利要求书

1.一种高压二极管合金后硅叠电镀金工艺，其特征在于，具体步骤如下：

1）作业准备

1.1 操作人员穿/戴好尼龙手套、乳胶手套、围裙及防护目镜；

1.2 按要求准备好各种需用药液；

1.3 闭合清洗剂液槽、本镀金槽加热器电源，给相应药液升温；

1.4 闭合电镀用电源；

1.5 闭合红外线烘箱电源并确认其排风扇运转正常；

1.6 用分析天平检查电镀金厚度的硅片重量；

1.7 将一次合金后的待镀金硅叠装上夹具，并在每扩散批的首架装上电镀金厚度测量用硅片样片；

2） 作业

2.1 脱脂

2.1.1 确认清洗剂液槽液温为（60±5）℃；

2.1.2 将夹具置于清洗剂中浸泡（5±1）min；

2.1.3 将夹具在纯水槽中冲洗30S，并用手不断上下摆动夹具；

2.1.4 将夹具在盐酸槽中浸泡（60 ±5）S；

2.1.5 将夹具置于纯水槽中冲洗30S；

2.2 预镀

2.2.1 将夹具置于预镀液槽中，电镀30S；控制电镀电源电压为(3.35±0.01)V；

2.2.2 将夹具置于纯水槽中清洗30S；

2.3 本镀

2.3.1 确认本镀液槽液温为（60～65）℃；

2.3.2 将夹具置于本镀槽中，本/电镀(2.0±0.5)min，调整电镀电源电流为(0.6±0.1)A，电镀电压不定；

2.4 后处理

2.1.1 将夹具转入两个水洗槽即两槽，纯水清洗两遍，每遍各清洗30S；

2.1.2 转入甲醇槽，两槽各浸泡30S；

2.1.3 将夹具置于红外线烘箱中，干燥5 min.；

2.1.4 从夹具上取下硅叠，排列到定数容器上；

2.5 镀金层厚度检测

2.2.1 称量：用分析天平称量电镀金后硅片重量，并求差得电镀金重；

2.2.2 计算厚度：根据公式 电镀厚度=电镀金重（g）/0.1165(μm)；

2.2.3 确认镀毕硅叠金层厚度符合工艺规范要求，对厚度小于工艺要求的硅叠进行补镀；

2.6 重复2.1条～2.5条各项操作至待加工硅叠处理完毕。

2.根据权利要求1所述的一种高压二极管合金后硅叠电镀金工艺，其特征在于，所述的盐酸槽中的盐酸溶液是按HCL：H₂O=1：10比例配制，每次约5升，4.5L水中注入盐酸450ml,每处理六个生产批后更新一次。

3.根据权利要求1所述的一种高压二极管合金后硅叠电镀金工艺，其特征在于，所述的清洗剂液槽中的清洗剂溶液是按清洗剂原剂：H₂O=3：100比例配制，每次配13L，称取清洗剂原剂390g，置于13L的水中；用玻璃棒搅拌，直至清洗剂完全溶化；溶液每处理叁拾个生产批后更新一次。

4.根据权利要求1所述的一种高压二极管合金后硅叠电镀金工艺，其特征在于，所述的甲醇槽中的甲醇脱水液是使用不稀释的甲醇原液，初次应用时，两槽即两个不锈钢脱水槽各注入甲醇原液4L；甲醇液处理六个生产批后，将一次槽中的甲醇残液倒入回收容器，然后将二次槽中药液倒换到一次槽内，再在二次槽内注入甲醇原液4L。

5.根据权利要求1所述的一种高压二极管合金后硅叠电镀金工艺，其特征在于，所述的预镀液槽中的预镀金液的配制方法：

1）配制

按柠檬酸钠：柠檬酸：氰化金钾：H₂O=30：5：1：500比例配制，配15L，即在15L纯水中，加入柠檬酸钠900g，柠檬酸150g，氰化金钾30g ；配成的预镀金液比重为1.02～1.07，PH值为5～7；

2）过滤

按附录A《预镀金液、本镀金液的过滤》执行；

3）预镀金补给液的配制

按纯水：氰化金钾=200：11比例配制，配制液量根据已镀硅叠数确定；

4）预镀金液的补给

每电镀80个硅叠向预镀金液内补给预镀金液补给液10ml。