[发明专利]一种承载装置及承载系统、工作方法

权利要求书

1.一种承载装置，其特征在于，包括：

真空吸盘，包括相对的吸附面和背面，所述吸附面用于吸附待测对象的第一表面；

多个支撑组件，所述支撑组件配置为沿垂直于所述吸附面的方向运动；

所述多个支撑组件形成有支撑面，所述支撑面用于支撑所述待测对象的边缘；在沿垂直于所述吸附面的方向上，所述吸附面距离所述真空吸盘的背面的距离小于所述支撑面距离所述真空吸盘的背面的距离。

2.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述多个支撑组件包括定位块，所述定位块包括定位部和第一承托面，所述第一承托面用于承托所述待测对象的边缘区域，所述定位部与所述待测对象的边缘径向相抵。

3.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述多个支撑组件包括承载块，所述承载块具有第二承托面，所述第二承托面不超出所述吸附面或所述第二承托面与所述支撑面齐平。

4.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述承载装置还包括夹持部件，所述夹持部件包括夹持部和夹持驱动部，所述夹持部配置为与所述待测对象的边缘径向相抵；

夹持驱动部，用于驱动所述夹持部沿所述真空吸盘径向移动，提供所述夹持部的夹紧驱动力，并配置为：在所述夹紧驱动力的作用下，所述夹持部与所述定位块构建形成的所述夹紧力至待测对象。

5.根据权利要求4所述的承载装置，其特征在于，所述夹持驱动部包括夹持气缸，所述夹持气缸的输出端与所述夹持部件的本体传动连接；所述夹持部枢接于所述夹持部件的本体，且可绕枢接中心在夹紧工作位和松开工作位之间切换，并配置为：位于所述夹紧工作位的所述夹持部，与所述定位块构建形成的所述夹紧力至待测对象。

6.根据权利要求5所述的承载装置，其特征在于，所述夹持部设置为两个，相对于与两者枢接中心连线垂直的对称中心线，两个所述夹持部镜像设置；每个所述夹持部均具有自本体向外折弯形成的夹持端，且与待侧器件外周适配的端部为外凸弧面；所述夹持部件还包括：

设置在两个所述夹持部之间的弹性件，并配置为：两个所述夹持部切换至夹紧工作位的过程中，所述弹性件形变并储备弹性变形能。

7.根据权利要求4所述的承载装置，其特征在于，还包括升降部件，所述升降部件包括：

升降台，所述多个支撑组件均设置在所述升降台上，并由所述升降台沿垂直于所述吸附面的方向运动；

升降驱动部，可提供所述升降台的升降驱动力。

8.根据权利要求7所述的承载装置，其特征在于，还包括：

至少两个限位块，周向均布设置在所述升降台上，并配置为：所述升降台带动所述多个支撑组件沿垂直于所述吸附面的方向运动，至少两个所述限位块与所述真空吸盘的背面压抵限位。

9.根据权利要求8所述的承载装置，其特征在于，所述承载块和所述定位块均位于所述真空吸盘的径向外侧，其中，所述定位块至少设置为两个，并对称设置在远离所述夹持部一侧的所述升降台上，所述承载块设置在接近所述夹持部一侧的所述升降台上。

10.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述待测对象的第一表面为所述待测对象的非加工面。

11.一种承载系统，其特征在于，包括权利要求1至10中任一项所述的承载装置，以及机械手和转运装置，所述承载装置用于承载所述待测对象，所述机械手用于转运所述待测对象，所述转运装置用于翻转所述待测对象。

12.一种承载装置的工作方法，所述承载装置包括如权利要求1-10所述任一项承载装置，其特征在于，所述方法包括：

使多个支撑组件沿垂直于真空吸盘表面的方向运动；

使所述真空吸盘的吸附面吸附所述待测对象的第一表面；

或者，使所述多个支撑组件沿垂直于所述真空吸盘表面的方向运动，使所述支撑组件和夹持部件对所述待测对象的边缘。

13.根据权利要求12所述的工作方法，其特征在于，所述承载装置包括机械手，所述方法还包括：

使所述多个支撑组件带动所述待测对象沿垂直于所述真空吸盘表面的方向运动，使所述机械手将所述待测对象从所述承载装置上取走。