[发明专利]一种水平沉铜液及其制备方法

权利要求书

1.一种水平沉铜液，其特征在于，所述水平沉铜液中，铜盐的含量为10～15g/L，稳定剂的含量为0.1～0.3mg/L，还原剂的含量为8～12g/L，络合剂的含量为25～32g/L，加速剂的含量为0.3～0.8g/L，柔韧剂的含量为0.2～0.5g/L；

所述加速剂由3-炔基-2-丁酮和4-甲基吲哚酮按质量比5-8:1-3组成；

所述柔韧剂由糖精钠、多聚磷酸钠和聚乙烯吡咯烷酮按质量比12-15:7-10:2-4组成。

2.如权利要求1所述的水平沉铜液，其特征在于，所述水平沉铜液中，铜盐的含量为11g/L，稳定剂的含量为0.16mg/L，还原剂的含量为9g/L，络合剂的含量为27g/L，加速剂的含量为0.4g/L，柔韧剂的含量为0.3g/L。

3.如权利要求1或2所述的水平沉铜液，其特征在于，所述稳定剂为亚铁氰化钾、巯基丁二酸、硫脲和亚硫酸钠中的一种或两种以上。

4.如权利要求1或2所述的水平沉铜液，其特征在于，所述络合剂为柠檬酸、酒石酸钾钠、L-苹果酸和乙二胺四乙酸二钠中的一种或多种。

5.如权利要求4所述的水平沉铜液，其特征在于，所述络合剂由L-苹果酸、柠檬酸和乙二胺四乙酸二钠按质量比1-2:4-5:10-15组成。

6.如权利要求1所述的水平沉铜液，其特征在于，所述柔韧剂由糖精钠、多聚磷酸钠和聚乙烯吡咯烷酮按质量比13:8:2组成。

7.如权利要求1所述的水平沉铜液，其特征在于，所述聚乙烯吡咯烷酮的平均分子量为3500。

8.如权利要求1-7任一项所述的水平沉铜液的制备方法，其特征在于，步骤如下：

先将铜盐、络合剂、稳定剂、还原剂、柔韧剂分别溶于水制备各自的水溶液，向加速剂中加入与加速剂等质量的乙醇，然后用水稀释，然后将铜盐水溶液与络合剂水溶液混合，混合均匀后加入稳定剂水溶液、稀释后的加速剂，还原剂水溶液、柔韧剂水溶液，搅拌均匀，调节pH至10-13，搅拌均匀，即得。