[发明专利]一种晶体单线调向切割方法在审
申请号: | 202010779015.8 | 申请日: | 2020-08-05 |
公开(公告)号: | CN112026030A | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 靳霄曦;张继光;徐伟;魏汝省;赵丽霞;李斌;樊晓 | 申请(专利权)人: | 山西烁科晶体有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00 |
代理公司: | 太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙) 14109 | 代理人: | 崔雪花;冷锦超 |
地址: | 030006 山西省太*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶体 单线 切割 方法 | ||
1.一种晶体单线调向切割方法,其特征在于,包括以下步骤:
a)对晶体的基准面进行测量,找出正轴晶向,再测试垂直于该方向的晶向角度,确定晶体偏角α;
b)将晶体偏角为零的方向垂直固定在切割底座上,将切割底座紧固在单线切割装置上,并使单线切割装置的切割线紧贴晶体基准面;
c)旋转晶体至对应偏角α,将料头截断,之后平移对刀,将料尾截断,得到调向后的晶体。
2.根据权利要求1所述的一种晶体单线调向切割方法,其特征在于,在进行步骤a之前,将晶锭滚圆至单晶区,得到规则圆形晶体。
3.根据权利要求2所述的一种晶体单线调向切割方法,其特征在于,采用外圆磨床将晶锭滚圆,外圆磨床采用金刚石砂轮。
4.根据权利要求1所述的一种晶体单线调向切割方法,其特征在于,采用定向仪对晶体的基准面进行测量。
5.根据权利要求1所述的一种晶体单线调向切割方法,其特征在于,将晶体偏角为零的方向垂直粘接在切割底座上,粘接使用的粘接剂为环氧树脂胶。
6.根据权利要求1所述的一种晶体单线调向切割方法,其特征在于,所述的切割线为金刚石线,所述金刚石线中金刚石粒度为20-40μm,金刚石线的直径为140-300μm。
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